Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии

П. С. Костомаров

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

3 ноября 2026 г.

Физики научили ИИ настраивать пучок частиц в ускорителе

Исследователи Института искусственного интеллекта и цифровых наук ФКН НИУ ВШЭ и Института ядерной физики СО РАН разработали RLABC — программу, которая помогает подбирать оптимальные настройки ускорителя частиц с помощью обучения с подкреплением. В компьютерном эксперименте программа настроила модель так, что до конца ускорителя доходило около 70% частиц. Исследование опубликовано в журнале Computer Physics Communications.

3 ноября 2026 г.

«Органы на чипе позволяют проверять лекарства без экспериментов на животных»

Лаборатория молекулярной физиологии факультета биологии и биотехнологии НИУ ВШЭ изучает, как молекулярные регуляторы (микроРНК) управляют работой генов и влияют на развитие болезней — онкологических, вирусных и воспалительных, а также осложнений беременности. В Вышке выращивают модели органов человека на чипе: крошечные устройства с живыми клетками, воспроизводящие работу, например, плаценты или кишечника. Модели помогают понять, как возникают болезни и как на них действуют лекарства. «Вышка.Главное» побеседовала с заведующим лабораторией Евгением Князевым.

3 ноября 2026 г.

В НИУ ВШЭ выяснили, почему опытные читатели ошибаются в нестандартных фразах

Ученые Центра языка и мозга НИУ ВШЭ проверили, как люди понимают предложения, когда грамматика подсказывает одно, а жизненный опыт — другое. Участники эксперимента читали фразы о двух персонажах и отвечали, кто из них выполнил действие. Результаты показали, что более начитанные люди лучше справлялись с заданиями, в которых персонаж выполнял ожидаемое действие, но ошибались, когда действие персонажа шло вразрез с ожиданиями.Исследование опубликовано в журнале Quarterly Journal of Experimental Psychology. Работа выполнена при поддержке гранта РНФ.

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 121–124.

Костомаров П. С.

Зачастую, перед инженерами, задействованными на производстве микроэлектронной промышленности, возникает задача выбора лучшего варианта устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ), при решении которой они руководствуются обобщенным критерием оценки качества. Обобщенный критерий включает в себя технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии. В работе показано сравнение вариантов устройств по показателям обобщенного критерия качества, основываясь на порядковой шкале оценок.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: Подсистема выбора УИУФЛ Сравнительный анализ Устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ)Множество Парето Множество независимых вариантов

В книге

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2014», 1–5 декабря 2014 г., Москва

Ч. 3. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014.

Episodic Volunteering in Sport Events: A Seven-Country Analysis

Okada A., Ishida Y., Yamauchi N. и др., Voluntas: International Journal of Voluntary and Nonprofit Organizations 2022 Vol. 33 P. 459–471

Добавлено: 28 ноября 2021 г.

Моделирование сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии

Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалы международной научно-практической конференции, 2014.: М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211–213.

В работе рассмотрена методология моделирования сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Приведены основные шаги, необходимые для построения системной модели, показаны этапы моделирования сложных систем. Использование данной методологии позволяет при помощи методов алгоритмизации и ЭВМ осуществить обоснованный выбор объектов иммерсионной литографической системы. ...

Добавлено: 9 июня 2015 г.

Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок

Костомаров П. С., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 251–252.

В работе представлено сравнение вариантов устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ) по показателям с использованием порядковой шкалы оценок. В перечне предпочтительных вариантов можно найти такие, которые будут обладать высшими оценками по какому-либо локальному показателю. Предложен алгоритм поиска множества независимых вариантов УИУФЛ. Показаны этапы создание автоматизированной подсистемы выбора УИУФЛ. ...

Добавлено: 2 июня 2015 г.