Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии

П. С. Костомаров

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

15 июля 2026 г.

«Наука всемирна, она не знает границ»

Разработанные ординарным профессором, директором Международного центра анализа и выбора решений НИУ ВШЭ Фуадом Алескеровым и его коллегами методы сетевого анализа в библиометрии позволили определить особенности появления, взаимного влияния и цитирования публикаций в научных журналах. Частое цитирование разными изданиями одного или нескольких исследований означает высокое качество работы, а перекрестные ссылки внутри ограниченного круга журналов повышают вероятность формирования сети хищнических изданий.

16 июля 2026 г.

Российские ученые создали открытую базу данных для изучения концентрации внимания

Команда российских исследователей при участии ученых НИУ ВШЭ в Санкт-Петербурге разработала первую открытую мультимодальную базу данных с записями активности мозга, работы сердца и видеонаблюдения, которая поможет ученым понять, что происходит с мозгом человека во время глубокой концентрации. В будущем эта разработка позволит ускорить создание нейроинтерфейсов, технологий реабилитации и систем искусственного интеллекта. Статья опубликована в журнале Scientific Data.

15 июля 2026 г.

«Тело саботирует мозг»: ученые НИУ ВШЭ - Санкт-Петербург объяснили физиологическую природу компульсивного переедания

Исследователи НИУ ВШЭ — Санкт-Петербург совместно с экспертами Тюменского государственного медицинского университета доказали, что при расстройствах пищевого поведения (РПП) организм теряет способность адаптироваться к стрессу. Попытки пациентов взять себя в руки при переедании часто не приносят результата: нервная система перестает реагировать на команды мозга.

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 121–124.

Костомаров П. С.

Зачастую, перед инженерами, задействованными на производстве микроэлектронной промышленности, возникает задача выбора лучшего варианта устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ), при решении которой они руководствуются обобщенным критерием оценки качества. Обобщенный критерий включает в себя технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии. В работе показано сравнение вариантов устройств по показателям обобщенного критерия качества, основываясь на порядковой шкале оценок.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: Подсистема выбора УИУФЛ Сравнительный анализ Устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ)Множество Парето Множество независимых вариантов

В книге

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2014», 1–5 декабря 2014 г., Москва

Ч. 3. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014.

Episodic Volunteering in Sport Events: A Seven-Country Analysis

Okada A., Ishida Y., Yamauchi N. и др., Voluntas: International Journal of Voluntary and Nonprofit Organizations 2022 Vol. 33 P. 459–471

Добавлено: 28 ноября 2021 г.

Моделирование сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии

Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалы международной научно-практической конференции, 2014.: М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211–213.

В работе рассмотрена методология моделирования сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Приведены основные шаги, необходимые для построения системной модели, показаны этапы моделирования сложных систем. Использование данной методологии позволяет при помощи методов алгоритмизации и ЭВМ осуществить обоснованный выбор объектов иммерсионной литографической системы. ...

Добавлено: 9 июня 2015 г.

Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок

Костомаров П. С., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 251–252.

В работе представлено сравнение вариантов устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ) по показателям с использованием порядковой шкалы оценок. В перечне предпочтительных вариантов можно найти такие, которые будут обладать высшими оценками по какому-либо локальному показателю. Предложен алгоритм поиска множества независимых вариантов УИУФЛ. Показаны этапы создание автоматизированной подсистемы выбора УИУФЛ. ...

Добавлено: 2 июня 2015 г.