• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Метод многоуровневой токовой нагрузки для исследования процессов радиационной деградации и модификации МДП-структур

С. 381-386.
Андреев В. В., Бондаренко Г. Г., Столяров А. А., Дмитриев В. Г., Ахмелкин Д. М.

В данной работе для исследования процессов радиационной деградации и модификации тонких и сверхтонких диэлектрических пленок МДП-структур предложен новый метод многоуровневой токовой нагрузки. Этот метод позволяет исследовать процессы деградации и модификации МДП-структур при воздействии радиационных облучений, сильных электрических полей, плазменных обработок, инжекции горячих носителей и других стрессовых воздействий. Метод также дает возможность контролировать дефектность тонких пленок подзатворного диэлектрика МДП-приборов и влияние на неё радиационных воздействий.