• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Контроль структуры новых функциональных многослойных наноразмерных материалов комплементарными методами

С. 423-423.
Пруцков Г. В., Ковальчук М. В., Пашаев Э. М., Субботин И. А., Чуев М. А., Якунин С. Н., Квадраков В. В., Лихачев И. А.

В статье приводится исследование структур различных новых функциональных материалов, таких как эпитаксиальные слои оксида европия на кремнии или гетероструктуры на основе твердых растворов вида InP/AlGaAs/InAs/InGaAs/InAlAs при помощи методов высокоразрешающей рентгеновской дифракции и рентгеновской рефлектометрии. Полученные этими методиками результаты показали хорошее согласование как друг с другом, так и с другими методами изучения структурного совершенства материалов, такими как электронная микроскопия. Совместное их использование позволяет значительно увеличить достоверность получаемых результатов.

В книге

СПб.: Издательство Санкт-Петербургского политехнического университета, 2014.