• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Книги
  • Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 1.
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
13 августа 2026 г.
Социальная интеграция: на перекрестках знаний и ценностей
Международная лаборатория исследований социальной интеграции (МЛИСИ) НИУ ВШЭ занимается изучением проблем уязвимых слоев населения и поиском методов их вовлечения в полноценную повседневную жизнь. Для поиска решений ученые лаборатории сочетают разработку передовых методов с практической работой «в поле». О деятельности лаборатории новостной службе «Вышка.Главное» рассказала ее заведующая Елена Ярская-Смирнова.
12 августа 2026 г.
Студенты Вышки, вероятно, обнаружили новый вид медузы во время практики на Сахалине
Учащиеся факультета биологии и биотехнологии НИУ ВШЭ стали первыми студентами, которые приехали в экспедицию на биостанцию «Анива» на острове Сахалин. Их целью было изучение морских полипов и медуз. Молодым ученым удалось получить неожиданные результаты: возможно, во время полевых работ они обнаружили новые для региона виды. Теперь часть находок привезут в Москву для детального изучения. Об экспедиции студентки рассказали «Вышке.Главное».
12 августа 2026 г.
«Я бы назвал атмосферу в лаборатории и в университете творческой и стимулирующей»
Научный сотрудник Международной лаборатории стохастического анализа и его приложений НИУ ВШЭ французский ученый Жан-Франсуа Жабир работает в НИУ ВШЭ с 2017 года. Его привлекла возможность вести исследования совместно с ведущими зарубежными и российскими учеными, свобода академических дискуссий и открытость университета. Своими впечатлениями о Вышке и Москве Жан-Франсуа Жабир поделился с новостной службой «Вышка.Главное».

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 1.

Ивантеевка МО : НИИ предельных технологий, 2012.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Львов Б. Г., Невский А. Б., Степанчиков С. В.

Рассмотрены общие и специальные вопросы принятия базовых микро- и наноинженерных решений при проектировании и изготовлении упругих чувствительных элементов наноэлектромеханических преобразователей, позволяющие создавать принципиально новые твёрдотельные приборы на основе квантовых эффектов – монолитные туннельные преобразователи, на базе которых могут быть построены измерительные системы нового поколения (акустические, акселерометрические и т.д. ), обладающие повышенной чувствительностью и широким динамическим диапазоном.

Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении, в том числе и наноинженерией туннельных преобразователей и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающихся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».

Приоритетные направления: инженерные науки
Язык: русский
Полный текст
Ключевые слова: наноинженериямикроинженериятуннельные преобразователиэлектронное машиностроение
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 1.
Похожие публикации
Perovskite nanoparticles Cs4PbBr6 and CsPbBr3: synthesis, analysis and peculiar optical properties
Гущина В. А., / Series chemrxiv-2023-vpzhz-v2 "ChemRxiv". 2023.
Наночастицы полностью неорганических перовскитов CsPbBr3 и Cs4PbBr6 интенсивно изучаются благодаря их уникальным свойствам и широкому спектру применений; однако природа их оптических свойств до сих пор полностью не изучена из-за сложности синтеза однофазных наночастиц. В данной статье мы описываем особенности синтеза однофазных частиц и результаты их химического и фазового анализа. Используя данные о концентрациях наночастиц, мы ...
Добавлено: 14 мая 2026 г.
Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena
Пиле Я. Э., Deng Y., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.
Добавлено: 20 апреля 2026 г.
Doping dependence of low-energy charge collective excitations in high-Tc cuprates
Каган М. Ю., Silkin V. M., Efremov D. V., / Series arXiv "math". 2024. No. 2411.12836.
Добавлено: 27 ноября 2024 г.
Influence of anisotropy on the study of critical behavior of spin models by machine learning methods
Суховерхова Д. Д., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2410.14523.
...
Добавлено: 21 октября 2024 г.
Comparison of the microcanonical population annealing algorithm with the Wang-Landau algorithm
Мозоленко В. К., Fadeeva Marina, Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2405.10865.
Добавлено: 20 мая 2024 г.
Majorana modes and Fano resonances in Aharonov- Bohm ring with topologically nontrivial superconducting bridge
Каган М. Ю., Аксёнов С. В., / Series Research Square "Research Suqare". 2024. No. 1.
Добавлено: 10 апреля 2024 г.
High-frequency dielectric anomalies in a highly frustrated square kagome lattice nabokoite family compounds ACu7(TeO4)(SO4)5Cl (A=Na, K, Rb, Cs)
Ребров Я. В., Глазков В. Н., Murtazoev A. F. и др., / Series cond-mat "arxiv.org". 2023.
Добавлено: 29 января 2024 г.
Nondestructive KPFM-assisted Quality Control in Fabrication of GaAs High-Speed Electronics
Shurakov A., Kaurova N., Belikov I. и др., / Series Physics "arxiv.org". 2022.
Добавлено: 15 сентября 2023 г.
Mathematical technology for solving the Kardar-Parisi-Zhang equation with a source
Рассадин А. Э., Степанов А. В., Journal of Physics: Conference Series 2019 Vol. 1392 Article 012059
Добавлено: 2 января 2023 г.
Some notes about scanning probe microscopy, nanoengineering and methods of quantum mechanics
A E Rassadin, Sazanova T. S., Stepanov A. V. и др., IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2018 Vol. 443 Article 012027
Добавлено: 30 декабря 2022 г.
Model of Growth of Heusler-Alloy Epitaxial Films
Vorotyntsev I. V., A. E. Rassadin, Fomin L. A. и др., Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques 2021 Vol. 15 No. 2 P. 389–395
Добавлено: 11 декабря 2022 г.
Determination of rate of epitaxial growth by means of combined usage of atomic force microscopy and light scattering data
A E Rassadin, IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2019 Vol. 699 Article 012039
Добавлено: 8 декабря 2022 г.
Superconducting spin valves based on a single spiral magnetic layer
Пугач Н. Г., Safonchik M. O., Belotelov V. и др., / Series "cond-mat". 2022. No. 2110.00369.
Добавлено: 16 ноября 2022 г.
Charge transport in the spatially correlated exponential random energy landscape: effect of the non-positive correlation function
Новиков С. В., / Series cond-mat "arxiv.org". 2022. No. 2209.14955.
Добавлено: 1 ноября 2022 г.
Software Complex for the Numerical Solution of the Isotropic Imaginary-Axis Eliashberg Equations
Ихсанов Р. Ш., Mazur E., Каган М. Ю., / Series "Working papers by Cornell University". 2022. No. 2202.01452.
Добавлено: 4 февраля 2022 г.
Theory of Ionic Liquids with Polarizable Ions on a Charged Electrode
Будков Ю. А., Zavarzin S., Kolesnikov A. L., Journal of Physical Chemistry C 2021 Vol. 125 No. 38 P. 21151–21159
Добавлено: 16 сентября 2021 г.
Synthesis, structure, and PDE inhibiting activity of the anionic DNIC with 5-(3-pyridyl)-4H-1,2,4-triazole-3-thiolyl, the nitric oxide donor.
Sanina N., Isaeva U., Utenyshev A. и др., Inorganica Chimica Acta 2021 Vol. 527 Article 120559
Добавлено: 16 сентября 2021 г.
Технологии углеродных материалов и структур в наноинженерии
Воротилов К. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., М.: Редакционно-издательский отдел МИРЭА, 2015.
Рассмотрены некоторые вопросы информационных технологий проектирования в микро- и наноинженерии, в частности формирование углеродных нанообъектов в тонкоплёночных структурах, автоматизированное проектирование процесса получения углеродных нанотрубок и фуллеренов, моделирование процесса управления качеством электронных устройств, функциональное моделирование системы менеджмента качества, математическое моделирование управления качеством электронных устройств на основе углеродных структур. Учебное пособие рекомендовано студентам вуза, обучающимся по направлениям: 210100 ...
Добавлено: 4 ноября 2015 г.
Всесоюзная студенческая научно-техническая конференция «Автоматизация проектирования и конструирования в электронном машиностроении»: Тезисы докладов
М.: МИЭМ, 1988.
В настоящем сборнике содержаться тезисы докладов Всесоюзной студенческой научно-технической конференции «Автоматизация проектирования и конструирования в электронном машиностроении», проводимой Минвузом РСФСР и МИЭМ. Тематика докладов охватывает вопросы САПР в электронном машиностроении. ...
Добавлено: 10 марта 2014 г.
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 7
Андрианов К. Н., Балан Н. Н., Васин В. А. и др., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2013.
В монографии даётся обзор современного оборудования для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского. Показано состояние работ в области создания такого оборудования; обсуждаются методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей росто-вого оборудования, включающая методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи, методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический ...
Добавлено: 29 ноября 2013 г.
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 7
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2013.
В монографии даётся обзор современного оборудования для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского. Показано состояние работ в области создания такого оборудования; обсуждаются методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей росто-вого оборудования, включающая методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи, методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический ...
Добавлено: 29 ноября 2013 г.
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 6
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2013.
Рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную технологическую среду. Представлена классификация устройств с бесконтактным взаимодействием для вакуумного оборудования, построенная на основе реализованных и перспективных технических решений. Получено выражение, позволяющее определить максимальную интенсивность изнашивания во фрикционном контакте опорного узла устройства с бесконтактным магнитным взаимодействием, при которой ...
Добавлено: 22 сентября 2013 г.
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 5
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2012.
В монографии рассмотрены конструктивные решения как технологических устройств на основе пьезоприводов и магнитострикционных элементов, так и самих приводов, предназначенных в том числе для работы в условиях вакуума. Предложенные технические решения удовлетворяют критериям качества по привносимой дефектности, кинематическим и динамическим параметрам работоспособности. Разработанные модели образования привносимой дефектности в условиях вибрации позволяют реализовать конструкции прецизионных приводов, дефектность ...
Добавлено: 22 сентября 2013 г.
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 3
Васин В. А., Ветров В. А., Ивашов Е. Н. и др., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2012.
Показана разработанная методика поиска физического принципа действия вакуумного насоса нового класса, в основе которой лежат эвристические правила, позволяет применять при поиске многокритериальный логико-эвристический выбор вида насоса. Предложена методика формирования моделей функционирования миниатюрных низковакуумных насосов, которая позволяет разработчику вакуумной техники создавать виртуальные процессы изменения давления в насосе при произвольном изменении его структуры. Разработанная методика обобщена для ...
Добавлено: 22 сентября 2013 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика обработки персональных данных
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору