• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Книга

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 1.

Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2012.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Львов Б. Г., Невский А. Б., Степанчиков С. В.

Рассмотрены общие и специальные вопросы принятия базовых микро- и наноинженерных решений при проектировании и изготовлении упругих чувствительных элементов наноэлектромеханических преобразователей, позволяющие создавать принципиально новые твёрдотельные приборы на основе квантовых эффектов – монолитные туннельные преобразователи, на базе которых могут быть построены измерительные системы нового поколения (акустические, акселерометрические и т.д. ), обладающие повышенной чувствительностью и широким динамическим диапазоном.

Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении, в том числе и наноинженерией туннельных преобразователей и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающихся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 1.