?
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 1.
Рассмотрены общие и специальные вопросы принятия базовых микро- и наноинженерных решений при проектировании и изготовлении упругих чувствительных элементов наноэлектромеханических преобразователей, позволяющие создавать принципиально новые твёрдотельные приборы на основе квантовых эффектов – монолитные туннельные преобразователи, на базе которых могут быть построены измерительные системы нового поколения (акустические, акселерометрические и т.д. ), обладающие повышенной чувствительностью и широким динамическим диапазоном.
Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении, в том числе и наноинженерией туннельных преобразователей и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающихся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».