• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Книга

Основы нанометрологии

Карцев Е. А., Юрин А. И.

Приведены основные понятия и определения нанометрологии, сведения об истории развития исследований в нанометровом диапазоне. Рассмотрена классификация нанообъектов, их свойства и параметры. Изложены принципы элементного и структурного анализа нанообъектов и вопросы метрологического обеспечения нанотехнологий. Особое внимание уделено методам и средствам исследования поверхностей и нанопокрытий. Достаточно подробно рассмотрены конструкция и метрологические характеристики сканирующих туннельных, электронных и атомно-силовых микроскопов.

Основы нанометрологии