• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ-литографического модульного оборудования

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.

В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы оценки надежности систем из многофункциональных модулей с произвольным видом компоновки оборудования, задействованного при выполнении технологических операций УФ – литографии.