• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Твёрдосмазочные покрытия для улучшения экологии вакуумной технологической среды в электронном производстве

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.

Предложены твёрдосмазочные покрытия, предназначенные для улучшения экологических параметров вакуумного оборудования электронного производства. Представлены результаты экспериментальных исследований фрикционных характеристик твёрдосмазочных покрытий. Разработаны конструктивно-технологические решения опорных узлов механических систем, позволяющие улучшить экологию вакуумной технологической среды.