• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Влияние облучения высокоэнергетическими электронами на адгезию вольфрамовой пленки к кремниевой подложке

Артамонов А. В., Бондаренко Г. Г., Якункин М. М.

Используя метод неразрушающего контроля адгезии границы контакта плёнка – подложка по величине тепловой проводимости α12, проведено исследование изменения α12 для системы вольфрамовая плёнка (0,8 мкм) – кремниевая подложка (0,7 мм) после облучения высокоэнергетическими электронами. Показано, что облучение приводит к увеличению тепловой проводимости границы раздела и улучшению адгезионных характеристик.