?
Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме
Технология машиностроения. 2011. № 6. С. 27-28.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.
Разработана математическая модель сложных перемещений исполнительного устройства автоматизированного вакуумного технологического оборудования, позволяющая управлять равномерностью нанесения тонких пленок с целью ее повышения. Приведены технологические преимущества l-координатных исполнительных устройств в сравнении с планетарными компоновками и основные пути управления и повышения равномерности нанесения тонких пленок в вакууме.
Научное направление:
Строительство
Механика и машиностроение
Рациональное природопользование
Электроника и электротехника
Приоритетные направления:
инженерные науки
Язык:
русский
Васин В. А., Степанчиков С. В., Ивашов Е. Н., Контроль. Диагностика 2012 № 5 С. 71-74
Рассмотрены устройства для определения положения исполнительных систем оборудования в пространстве, в которых положение и движение определяются непосредственно в абсолютных координатах. Показаны варианты выполнения устройства для определения положения тела в пространстве, отличающиеся друг от друга измеряемыми расстояниями. Предложена контрольно-навигационная система для сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле. ...
Добавлено: 2 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Контроль. Диагностика 2011 № 2 С. 44-48
Рассмотрены вопросы применения устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием в сверхвысоковакуумном контрольно-диагностическом и технологическом оборудовании электронной техники. Представлена методика и результаты расчёта устройств на привносимые загрязнения микрочастицами износа в контролируемой вакуумной среде. ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. и др., Электротехнические и информационные комплексы и системы 2012 № 2 С. 6-9
Рассмотрены вопросы повышения производительности линии сборки вакуумных СВЧ-приборов и задача герметизации штенгеля при сборке прибора; сформулированы основные направления работ, позволяющие пользователям технологического оборудования улучшить его экологические параметры, повысить производительность и эффективность использованя. ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Нелинейный мир 2012 № 1 С. 36-48
Рассмотрены состояние теории и методы расчёта и проектирования приводов и функциональных устройств с минимальным уровнем загрязнений, привносимых на изделия электронной техники, предназначенные для работы в статических и динамических режимах в современных вакуумно-технологических модульных комплексах. ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Структурная Надёжность 2011 № 2 С. 40-48
Представлены методы расчёта трибоэкологических параметров, влияющих на загрязнение внутрикамерных объёмов вакуумного оборудования и дефектность, привносимую на обрабатываемые изделия электронной техники. Выполнен расчёт коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме в зависимости от разряжения окружающей среды для случаев упругого и пластичного контактного взаимодействия, а также расчёт интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Технология машиностроения 2011 № 2 С. 47-51
Рассмотрены функциональные устройства с бесконтактным магнитным взаимодействием, предназначенные для специального оборудования высоких технологий. Приведены методика и результаты расчетов механизмов на привносимые загрязнения микрочастицами износа в чистой вакуумной среде, что позволяет создавать рациональные конструкции Функциональных устройств и оптимизировать параметры проектируемого сверхвысоковакуумного аналитико-технологического и технологического оборудования. ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Григорьев И. Ю., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., Антенны 2012 № 3 С. 61-66
Проанализированы устройства сканирования антенн, которые позволяют осуществлять возвратно-вращательное (сканирующее) движение исполнительного элемента электромеханического привода. Приведены основные особенности подобных устройств, позволяющие выбрать оптимальный тип устройства и рассмотрены основы их проектирования. ...
Добавлено: 2 декабря 2012 г.
С.В. Степанчиков, Е.Н. Ивашов, М. : Юрайт, 2016
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники – вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими ...
Добавлено: 27 ноября 2015 г.
Кулагин В. П., Львов Б. Г., Пономарев А. Н. и др., Российские нанотехнологии 2010 Т. 5 № 11-12 С. 12-15
МИЭМ, сохраняя научно-образовательные традиции и активно используя междисциплинарные связи, ориентирован на развитие магистральных направлений науки и техники с одновременной подготовкой квалифицированных кадров для этих направлений. В первую очередь это нанотехнологии в многообразии их развития, а также сопутствующие им традиционные отрасли электроники, материаловедения, аналитической техники и машиностроения. ...
Добавлено: 21 марта 2013 г.
Таганрог : Изд-во НОЦ ЗИС КТ Южного федерального университета, 2015
Сборник подготовлен по результатам проведения Всероссийской молодежной школы семинара «Актуальные проблемы информационных технологий, электроники и радиотехники - 2015» (ИТЭР - 2015). В сборник включены материалы лучших научных статей молодых ученых, аспирантов, магистрантов, студентов, сотрудников образовательных и научных организаций, участников всероссийской молодежной школы семинара «Актуальные проблемы информационных технологий, электроники и радиотехники – 2015». Всероссийская молодежная школа ...
Добавлено: 19 февраля 2016 г.
М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013
Представлены материалы второй международной научно-практической конференции, отражающие современное состояние инновационной деятельности в образовании, науке, промышленности и социально-экономической сфере с позиций внедрения новейших информационных технологий.
Представляет интерес для широкого круга научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов и специалистов в области инноватики и современных информационных технологий. ...
Добавлено: 18 апреля 2013 г.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., Ивантеевка МО : НИИ предельных технологий, 2012
Рассмотрены общие и специальные вопросы технологии формирования стабильных электропроводящих объектов с минимальными размерами 3нм на углеродной основе методами сканирующей зондовой литографии. Решается задача о нестационарном локальном нагреве подложки точечным источником тепла. Приведены некоторые технические решения устройств, предназначенных для исследования и модификации поверхности твёрдого тела зондовыми методами. Подробно описана, впервые разработана технология производства ультраострых зондов на ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Пенза : ПГУ, 2015
В сборник трудов включены доклады юбилейного ХХ-го Международного симпозиума «Надежность и качество», проходившего с 25 по 31 мая 2015 г. в городе Пензе.
Рассмотрены актуальные проблемы теории и практики повышения надежности и качества; эффективности внедрения инновационных и информационных технологий в фундаментальных научных и прикладных исследованиях, образовательных и коммуникативных системах и средах, экономике и юриспруденции; методов и ...
Добавлено: 31 мая 2015 г.
Н. Новгород : Гладкова О.В., 2011
Добавлено: 13 марта 2013 г.
М. : МИЭМ, 2006
Представлены материалы третьей научно-практической конференции, отражающие состояние информационных технологий и подходов в решении проблем с позиций построения информационного общества и интеграции его в мировую систему.
Представляет интерес для широкого круга научных работников, преподавателей, аспирантов и студентов вузов, связанных с решением проблем информатизации; для специалистов в области современных информационных технологий. ...
Добавлено: 10 апреля 2014 г.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России 2012 № 3 С. 77-85
Рассмотрены аналитические модели, позволяющие осуществить возможность исследования свойств и особенностей предпочтительных вариантов и помогающие выбрать направление опроса проектировщиков оборудования ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство с использованием эффекта обращения волнового фронта, обеспечивающее создание высоконаправленных пучков, которое позволяет повысить производительность нанесения нанодорожек на подложку. ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Milan : INSTICC (Institute for Systems and Technologies of Information, Control and Communication), 2009
Сборник международного семинара “Networked embedded and control system technologies: European and Russian R&D cooperation”, изданного в рамках 7 рамочной программы Евросоюза. ...
Добавлено: 7 декабря 2012 г.
Ермилов А. И., Ивашов Е. Н., Международный журнал экспериментального образования 2014 № 1 С. 98-101
Разработаны устройства наноперемещений с зондами, выполняющие операции, необходимые для формирования квантовых точек. Показаны варианты выполнения устройств. ...
Добавлено: 20 января 2014 г.
Котельников Д. С., Технологии электромагнитной совместимости 2013 № 4(47) С. 69-77
В статье рассматриваются современные международные и национальные принципы, особенности и основные обязательные требования технического регулирования в области электромагнитной совместимости технических средств. ...
Добавлено: 6 марта 2014 г.
М. : National Instruments Russia, 2017
Содержание сборника составляют доклады с результатами оригинальных исследований и технических решений, ранее не публиковавшиеся. Мы надеемся, что предлагаемый сборник окажется полезным для специалистов, работающих в различных областях науки и техники, для широкого круга преподавателей, аспирантов и студентов ВУЗов, а также для преподавателей средних школ и технических колледжей. ...
Добавлено: 10 мая 2017 г.
Жаднов В. В., М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015
Рассмотрены вопросы применения автоматизированных систем обеспечения надежности и качества радиоэлектронных средств на примере визуальной среды обеспечения надежности при проектировании - программного комплекса АСОНИКА-К. Приведено описание расчетных методов, применяемых при проектировании радиоэлектронных средств для оценки показателей их надежности. Приведены типовые задачи проектных исследований надежности радиоэлектронных средств, для решения которых могут применяться система расчета надежности электронных модулей ...
Добавлено: 24 декабря 2015 г.
M. : HSE, 2014
Представлены материалы третьей международной научно-практической конференции, отражающие современное состояние инновационной деятельности в образовании, науке, промышленности и социально-экономической сфере с позиций внедрения новейших информационных технологий. Материалы конференции представлены в трех частях.
Представляет интерес для широкого круга науных работников, преподавателей, аспирантов, студентов и специалиистов в области инноватики и информационных технологий. ...
Добавлено: 18 апреля 2014 г.
М. : МИЭМ, 2012
В сборнике приведены статьи преподавателей, сотрудников, магистров и аспирантов МИЭМ и других организаций, которые посвящены электромагнитной совместимости и перспективным вопросам проектирования электронных средств.
Сборник предназначен для специалистов в области проектирования электронных средств и электромагнитной совместимости. ...
Добавлено: 31 октября 2012 г.