• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Поглощение примесных газов в отпаянном атомарном лазере плёнкой титана, полученной методом катодного распыления

Наукоемкие технологии. 2012. Т. 13. № 4. С. 32-35.
Савельев И. И., Бруггер В. Э., Сухов Е. В., Пролейко Э. П., Маш Л. Д., Пчелинцева Н. И.

Проведено исследование возможности поглощения примесных газов в Не-Nе-лазере плёнкой титана, нанесённой методом катодного распыления, в малоогабаритной моноблочной конструкции. Показано, что использование такой плёнки позволяет уменьшить остаточное давление на несколько порядков и на 1-2 порядка уменьшить скорость натекания примесных газов. Определены оптимальные режимы распыления титановых электродов.