Рентгеновский микроанализ поверхности поливинилтриметилсилана после воздействия ускоренного потока кислородной плазмы

Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. № 4. С. 59–63.

Черник В. Н., Акишин А. И., Пасхалов А. А., Патракеев А. С., Бондаренко Г. Г., Гайдар А. И.

 

Методами РЭМ и РМА исследован элементный состав и структура поверхности поливинилтриметилсилана после экспонирования в ускоренном до энергии 20–30 эВ потоке кислородной плазмы. На поверхности материала развивается микрорельеф, отображающий его фибриллярную надмолекулярную структуру, увеличивается концентрация кислорода и уменьшается концентрация углерода. Обнаружено загрязнение поверхности атомами меди и фтора вследствие их эмиссии в поток плазмы из-за износа деталей ускорителя.

Ключевые слова: воздействие, структура, поливинилтриметилсилан, поток кислородной плазмы, поверхность, рентгеновский микроанализ, элементный состав, микрорельеф, влияние облучения на свойства твердых тел