• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Датчик давления с алмазным чувствительным элементом

СТИН. 2017. № 2. С. 32-36.
Алтухов А. А., Гладченков Е. В., Фещенко В. С., Львов С. А., Афанасьев С., Недосекин П. Г.

Прогресс в науке и технике, внедрение новых и совершенствование существующих технологий в станкостроении в значительной степени определяются уровнем развития автоматических и автоматизированных систем управления, контроля и диагностики, а также уровнем технического совершенства их элементов. Основа любых информационно-измерительных систем управëения и контроля — датчики, которые не только первыми воспринимают информацию об измеряемой механической величине, но и подвержены влиянию дестабилизирующих физических факторов, сопровождающих работу станков. В настоящей работе описано устройство, технология изготовления датчика давления, разработанного авторами на основе алмазных материалов. Изготовлены и испытаны емкостные датчики давления с алмазной мембранной, с емкостью 8 пФ и чувствительностью 0,38 пФ/кПа. Ключевые слова: датчик давления, CVD алмаз, алмазный датчик, чувствительный элемент.