• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Модификация диэлектрических пленок МДП-структур инжекционно-термической обработкой

Андреев В. В., Бондаренко Г. Г., Столяров А. А., Ахмелкин Д. М.

Проведена модификация диэлектрических пленок МДП-структур и границ раздела кремний-
диэлектрик методом инжекционно-термической обработки (ИТО), заключающейся в
сильнополевой инжекции заданной величины заряда в подзатворный диэлектрик с последующим
отжигом структуры. Исследовано влияние режимов ИТО на модификацию МДП-структур.
Показано, что проведение ИТО позволяет снижать дефектность диэлектрических пленок,
повышая надежность МДП-приборов. Установлено, что процессы модификации МДП-структур,
наблюдающиеся при ИТО, во многом идентичны процессам, происходящим при радиационно-
термической обработке (РТО), и, следовательно, для определенных видов МДП-приборов РТО
может быть заменена на ИТО.