• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Plasma chemistry and thin film deposition in discharges excited by intense microwave beams

Plasma Sources Science and Technology. 1993. Vol. 2. No. 3. P. 164-172.
Kostinskiy A., Botanov G., Berezhetskaya N., Gorbunov A., Dorofeyuk A., Konov V., Kope'ev V., Kossyi I.
Переводчик: E. Bol'shakov.