• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Особенности развития отечественного оборудования для нанотехнологий

Васин В. А., Фатьянова Н. Г., Васичев Б. Н., Степанчиков С. В.

Рассмотрены особенности развития оборудования, необходимого для исследования и производства объектов нанотехнологий. Показано, что для обеспечения технологических операций по изготовления объектов с наноразмерными элементами требуется разработка специального прецизионного электронного и ионного оборудования. На примере отечественных устройств проииллюстрирована техническая сложность и наукоёмкость такого рода работ. Отражены основные направления ведущихся и перспективных исследований.