• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Проблемы построения микро- и нано- устройств с применением нанотехнологий

Васин В. А., Васичев Б. Н., Степанчиков С. В., Фатьянова Н. Г.

Рассмотрены вопросы построения микро- и нано- устройств с применением нанотехнологий. Представлены модели наносборки и роста нанообъектов, свойства нанообъектов и наноустройств. Описаны технологические и метрологические проблемы создания и внедрения нанопродуктов, микросистемной техники и микромеханики.