• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Влияние отжига в парах фосфора и потоке водорода на глубокие центры у поверхности в фосфиде галлия

Сказочкин А. В., Крутоголов Ю. К., Кунакин Ю. И., Бондаренко Г.Г.

В работе исследовано воздействие отжига в парах фосфора и потоке водорода на точечные дефекты в слоях GaP:N, выращенных методом газофазной эпитаксии.