• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Энергетическая сепарация ионов у текстурированной поверхности мишени в тлеющем разряде

Аитов Р. Д., Бондаренко Г.Г., Кристя В. И.

Теоретически исследовано движение ионов в катодном слое тлеющего разряда вблизи текстурированной поверхности мишени. Показано, что происходит сепа­рация ионов по энергиям на элементах поверхностного рельефа.