• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Расчет осаждения распыленного вещества на подложку при напылении тонких пленок в асимметричном тлеющем разряде переменного тока

Бондаренко Г.Г., Бонк О. Г., Кристя В. И.

Рассчитан диффузионный перенос вещества, распыляемого с поверхности мишени в асимметричном разряде переменного тока. Получены выражения для плотностей потоков распыленного вещества, осаждающегося на мишень и подложку. Установлено, что при снижении давления газа происходит уменьшение амплитуды нестационарной составляющей потоков распыленных атомов.