?
Методика исследования метрологических характеристик микропроцессорных средств измерений
.
Скачко Ю. В., Скачко Н. Ю., Галахов В. В.
Содержанием работы является методика измерений, предназначенная для метрологического исследования средств измерений линейных размеров и перемещений в диапазоне 50 мкм с погрешностью, не превышающей 10 нм. Методика отрабатывалась при разработке высокоточного микропроцессорного средства измерений. Исследования проводились исполнителями, выполняющими учебные лабораторные работы и участвующими в совершенствовании современных средств измерений для использования в задачах наноиндустрии
Язык:
русский
В книге
Ч. 1. Вып. XV. , М.: РНТОРЭС им. А.С.Попова, 2013.