Пьезоэлектрические сканирующие элементы зондовых микроскопов и нанотехнологического оборудования

С. 78–82.

Ивашов Е. Н., Князева М. П., Степанчиков С. В.

В работе рассматриваются трубчатые и биморфные пьезоэлементы, используемые в качестве основных приводящих элементов для зондовых микроскопов и нанотехнологического оборудования. Также предлагается ряд нанотехнологических устройств осуществляющих сверхточное позиционирование в системе измерительный зонд – подложка.

Ключевые слова: пьезоэлектрические сканирующие элементы, зондовые микроскопы, нанотехнологические устройства перемещения

В книге

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва

Ч. 4. , [б.и.], 2012.