Особенности структурных свойств фторполимерных пленок, осажденных из газовой фазы при воздействии вч-плазмы

С. 298–301.

Лучников П. А., Камильджанов Б., Гамилова Т. П.

В настоящей работе исследованы факторы влияния электронной компоненты ВЧ - плазмы на молекулярную структуру и свойства синтезируемых на подложке фторполимерных вакуумных пленок из газовой фазы. Таким образом, при получении вакуумных фторполимерных тонкопленочных покрытий из газовой фазы в ВЧ - поле в полимерном слое возникают радиационные дефекты в молекулярной и надмолекулярной структуре за счет воздействия активной компоненты частиц ВЧ - плазмы, которые значительным образом влияют на их основные электрофизические свойства. Путем направленного воздействия плазменного потока на растущий слой полимера в технологическом процессе возможно управлять свойствами получаемого диэлектрического покрытия.

Ключевые слова: Фторполимерные пленки

В книге

Молодые ученые – 2008 Материалы Международной научно-технической школы-конференции «Молодые ученые – науке, технологиям и профессиональному образованию»

Т. 4. , М.: Энергоатомиздат, 2008.