Информационные технологии в проектировании объектов электронного машиностроения

Кн. 4: Информационная технология в проектировании сканеров зондовых микроскопов. М. : Издательство ГНУ НИИ ПМТ, 2011.

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Павлов А. Ю., Степанчиков С. В.

Рассмотрены основные вопросы создания системы поддержки принятия рациональных решений при проектировании сканеров зондовых микроскопов, имеющей существенное значение для автоматизации проектирования устройств и модулей электронного машино- и приборостроения, микро- и наноэлектронной техники. Предложенный подход позволяет принимать научно обоснованные, технически целесообразные, технологически и экономически выгодные решения с целью последующего совершенствования известных и создания новых сканирующих зондовых микроскопов и их элементной базы.

Книга предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся информационными технологиями в проектировании объектов электронного машиностроения, в том числе проектированием сканеров для зондовых микроскопов и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению 210100 – «Электроника и наноэлектроника».

Ключевые слова: пьезосканеры, крип-эффект, критерии оптимальности, многофункциональные модули, многоатрибутивный выбор, синтез алгоритмов, магнитострикционные системы