?
Исследование строения и свойств пленок углеродных и алмазоподобных материалов
С. 256–260.
Налимов С. А., Юрин А. И.
В работе экспериментально исследованы пленки углеродных и алмазоподобных материалов (AlN) с упорядоченным строением кристаллической фазы, выращенные плазменными методами на подложках аморфных и кристаллических материалов с целью формирования многослойных структур на их основе. Исследовано влияние технологических параметров на состав, строение и функциональные характеристики слоев.
Язык:
русский
В книге
М.: Ассоциация выпускников и сотрудников ВВИА им. проф. Жуковского, 2018.