?
Влияние строения наноструктурированных тонких пленок углеродных материалов и нитридов металлов (TiN, ZrN, AlN) на механические характеристики слоистых структур
Наукоемкие технологии. 2018. № 4. С. 50–57.
Рассмотрено влияние условий формирования на состав и строение пленок алмаза, алмазоподобного углерода и нитридов ме-таллов (TiN, ZrN и AlN), при этом пленки алмаза выращивали из газовой смеси водорода и метана, активированной дуговым разрядом; алмазоподобные углеродные пленки (АУП) получали методами ВЧ-магнетронного распыления, диодного ВЧ-разряда газовой смеси циклогексана и водорода, распыления графита ионным пучком; пленки нитридов металлов получали методами дугового разряда, ВЧ- и на постоянном токе магнетронного реактивного распыления. Исследована взаимосвязь состава и строения синтезированных пленок с механическими свойствами слоистых структур на их основе.
Приоритетные направления:
инженерные науки
Язык:
русский