?
Стратегия развития ультрафиолетовой литографической технологии
С. 259–260.
Корпачев М. Ю.
В работе предложена стратегия развития ультрафиолетовой литографической технологии на основе морфологического метода проектирования. Технологический процесс ультрафиолетовой литографии подвергнут структурному и функциональному описанию, что создало возможность для автоматизированного поиска технологических решений. Рассмотрена модель управления производством, реализующим технологический процесс ультрафиолетовой литографии на основе принципов автоматизации и координации управлямых работ.
Язык:
русский
В книге
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015.