?
Анализ эффективности дополнительных средств откачки
С. 84–86.
Рассмотрена возможность использования в высоковакуумном оборудовании дополнительнительных средств откачки, размещаемых во внутрикамерном пространстве. Режим работы и условия эксплуатации иссле¬довательской аппаратуры определяют ряд специфических требований к технико-эксплуатационным парамет¬рам встроенных откачных устройств и ограничивают использование для этих целей традиционных средств от¬качки. Наилучшими показателями обладают насосы с нераспыляемыми газопоглотителями.
Язык:
русский
В книге
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014.