Расчет распыления электрода с диэлектрической пленкой на поверхности в тлеющем разряде

Г. Г. Бондаренко; Кристя В. И.; Йе Наинг Тун ..

?

Расчет распыления электрода с диэлектрической пленкой на поверхности в тлеющем разряде

С. 74–78.

Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Йе Наинг Тун ..

В работе предложена модель, позволяющая оценить роль полевой эмиссии в уменьшении эффективного коэффициента распыления материала катода в разряде.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: sputtering glow discharge распыление тлеющий разряд electrode электрод

В книге

Труды XXIV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 7 июля - 12 июля 2014г.)

М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014.

Measurement of Main Characteristics of a Glow Discharge by Surface Waves Resonance and Optical Emission Spectroscopy

Zheltukhin V. S., Kiselev G. B., A. Yu. Shemakhin и др., High Energy Chemistry 2025 Vol. 59 No. 2 P. 207–214

Добавлено: 25 февраля 2026 г.

Determination of the Electric Field by Particle Tracking in a Plasma Sheath Region during Free Fall

Schmitz A., Hanstein L., Klein M. и др., Microgravity Science and Technology 2025 Vol. 37 Article 7

Добавлено: 25 февраля 2026 г.

Influence of the Nonuniform Thickness of a Dielectric Film along a Cathode Surface on Its Heating in a Glow Discharge

Бондаренко Г. Г., Fisher M. R., Kristya V. I., Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques 2025 Vol. 19 No. 1 P. 66–72

Добавлено: 11 июня 2025 г.

Indigenous facility of the unipolar pulsed power generation for gas flow sputtering of titania films

Alktash N., Ruslan Muydinov, Erfurt D. и др., Review of Scientific Instruments 2023 Vol. 94 No. 7 Article 075104

Добавлено: 19 сентября 2024 г.

Моделирование влияния полевой электронной эмиссии из катода с тонкой диэлектрической пленкой на его распыление в газовом разряде в смеси аргона и паров ртути

Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Савичкин Д. О. и др., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2024 № 3 С. 81–87

Предложена модель слаботочного газового разряда в смеси аргона и паров ртути при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. Модель учитывает, что в такой смеси существенный вклад в ионизацию рабочего газа может давать ионизация атомов ртути при их столкновениях с метастабильными возбужденными атомами аргона. В разряде на поверхности пленки накапливаются положительные заряды, создающие в диэлектрике электрическое поле, достаточное для возникновения ...

Добавлено: 12 июня 2024 г.

Development of pseudocapacitive materials based on cobalt and iron oxide compounds for an asymmetric energy storage device

Masalovich M., Zagrebelnyy O., Nikolaev A. и др., Electrochimica Acta 2022 Vol. 410 Article 139999

Добавлено: 5 декабря 2022 г.

Modeling of the Influence of Thermal-Field Electron Emission from the Cathode with a Thin Insulating Film on its Heating in Glow Discharge

Bondarenko G.G., Kristya V. I., Myo T. H. и др., Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques 2022 Vol. 16 No. 4 P. 581–585

Добавлено: 3 августа 2022 г.

Модель термополевой электронной эмиссии из катода с тонкой диэлектрической пленкой в тлеющем разряде

Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Мьо Т. Х. и др., В кн.: Труды XXV Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью" (ВИП-2021)Т. 3: Взаимодействие плазмы с поверхностью - физика и технология.: М.: [б.и.], 2021. С. 86–89.

Добавлено: 21 сентября 2021 г.

Моделирование нагрева катода с тонкой диэлектрической пленкой в тлеющем разряде

Бондаренко Г.Г., Кристя В. И., Мью Т. Х. и др., В кн.: Труды XXXI Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 5 - 10 июля 2021 г.).: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2021. С. 159–164.

Добавлено: 22 июля 2021 г.

Proceedings of the XXIII International Conference «Ion-Surface Interactions» ISI–2017 (Moscow, Russia, August 21-25, 2017). Moscow, National Research Nuclear University «MEPhI», 2017

National Research Nuclear University «MEPhI», 2017.

Добавлено: 31 августа 2017 г.

МОДЕЛИРОВАНИЕ КИНЕТИКИ ЗАРЯЖЕННЫХ И ВОЗБУЖДЕННЫХ ЧАСТИЦ В СЛАБОТОЧНОМ РАЗРЯДЕ В СМЕСИ АРГОН-РТУТЬ

Бондаренко Г. Г., Дубинина М. С., Кристя В. И. и др., В кн.: Труды XXVII Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь,10-15 июля 2017 г.), под редакцией д.ф.-м.н., проф.Бондаренко Г.Г. М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2017, 522 с.: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2017. С. 41–46.

В данной работе с использованием предложенной модели слаботочного разряда определены вклады различных типов межчастичных взаимодействий в поддержание баланса основных типов частиц как функции относительного содержания ртути в смеси аргон-ртуть. ...

Добавлено: 22 августа 2017 г.

Calculation of the ion current distribution along the cathode in glow discharge under the existence of a periodic relief and an insulating film of varying thickness on its surface

Bondarenko G.G., Kristya V. I., , in: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. XII International Conference Radiation-thermal Effects and Processes in Inorganic Materials. 4–12 September 2016, Tomsk, Russian FederationТ. 168.: Бристоль: IOP Publishing, 2017. P. 012008-1–012008-5.

An approximate analytical expression for the ion current density near the cathode in glow discharge is obtained in the presence of a periodic relief of small amplitude and an insulating oxide film of varying thickness on its surface. It is found that ion focusing at the cathode sections with the minimum film thickness, located on ...

Добавлено: 26 апреля 2017 г.

Влияние полевой электронной эмиссии из катода с диэлектрической пленкой на характеристики нормального тлеющего разряда

Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Савичкин Д. О., Известия высших учебных заведений. Физика 2017 Т. 60 № 2 С. 129–134

Построена теоретическая модель катодного слоя нормального тлеющего разряда при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. В ней, кроме ионно-электронной эмиссии, учитывается также полевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием возникающего в диэлектрике сильного электрического поля. Установлено, что влияние полевой электронной эмиссии на характеристики тлеющего разряда определяется эмиссионной эффективностью пленки, равной ...

Добавлено: 6 апреля 2017 г.

Calculation of the ion current distribution along the cathode in glow discharge under the existence of a periodic relief and an insulating film of varying thickness on its surface

Bondarenko G.G., Kristya V. I., IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2017 Vol. 168 No. 012008 P. 1–5

Добавлено: 17 февраля 2017 г.

Influence of the non-uniformity of surface dielectric film thickness on cathode sputtering in a glow discharge

Bondarenko G.G., Kristya V. I., Tun Y. N., Russian Physics Journal 2016 Vol. 58 No. 9 P. 1313–1320

Special features of sputtering of the cathode with a thin dielectric film of variable thickness in a glow discharge are studied. It is shown that the flux density of atoms sputtered from the cathode is maximal on its sections with minimal film thickness due to focusing of ion flux caused by the violation of the ...

Добавлено: 21 января 2016 г.