?
Расчет распыления электрода с диэлектрической пленкой на поверхности в тлеющем разряде
С. 74-78.
В работе предложена модель, позволяющая оценить роль полевой эмиссии в уменьшении эффективного коэффициента распыления материала катода в разряде.
Язык:
русский
В книге
М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Journal of Physics: Conference Series 2008 Vol. 100 No. 062009 P. 1-4
Разработана математическая модель транспорта ионов и распыленных атомов в окрестности мишени, имеющей периодический поверхностный рельеф, при ее облучении в тлеющем газовом разряде. Исходя из предположения малости амплитуды рельефа, пертурбационным методом получены аналитические выражения для их потоков и уравнение, описывающее эволюцию амплитуды рельефа во времени. Показано, что процесс распыления доминирует над обратным перенапылением материала в верхних ...
Добавлено: 4 января 2013 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Prassitski V. V., Japanese Journal of Applied Physics 2001 Vol. 40 No. 2B P. 965-967
Analytical expressions which determine the probability of sputtered atom escaping from a cylindrical cavity and a rectangular trench on the target surface bombarded by an ion beam are obtained for sputtered atoms cosine and over-cosine angle distributions. It is shown that the sputtering yield can be substantially reduced by creation a relief of cylindrical cavities ...
Добавлено: 21 ноября 2013 г.
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Савичкин Д. О., В кн. : Труды XXV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 6-11 июля 2015г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015. С. 531-535.
В данной работе рассчитаны распределения потоков ионов аргона и ртути по энергиям у поверхности катода в слаботочном разряде в смеси аргон-ртуть, а также усредненные по энергиям эффективные коэффициенты распыления поверхности катода для обоих типов ионов как функции приведенной напряженности электрического поля. ...
Добавлено: 16 июля 2015 г.
Модель термополевой электронной эмиссии из катода с тонкой диэлектрической пленкой в тлеющем разряде
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Мьо Т. Х. и др., В кн. : Труды XXV Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью" (ВИП-2021). Т. 3: Взаимодействие плазмы с поверхностью - физика и технология.: М. : [б.и.], 2021. С. 86-89.
Добавлено: 21 сентября 2021 г.
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Савичкин Д. О., Известия высших учебных заведений. Физика 2017 Т. 60 № 2 С. 129-134
Построена теоретическая модель катодного слоя нормального тлеющего разряда при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. В ней, кроме ионно-электронной эмиссии, учитывается также полевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием возникающего в диэлектрике сильного электрического поля. Установлено, что влияние полевой электронной эмиссии на характеристики тлеющего разряда определяется эмиссионной эффективностью пленки, равной ...
Добавлено: 6 апреля 2017 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Vacuum 1999 Vol. 53 P. 25-27
A one-dimensional model kinetic equation for the energy distribution function of heavy ions in the cathode sheath of gas mixture glow dischargees is siggested. ...
Добавлено: 15 ноября 2013 г.
Bondarenko G.G., Korzhavyi A. P., Chistyakov G. A., Russian Metallurgy (Metally) 2005 No. 3 P. 269-272
The behaviour of sandwich structures of cold cathodes has been studied in a glow discharge. The differences in the behaviour of the cold-cathode composite structures under the action of a glow discharge in a helium-neon mixture are discussed. ...
Добавлено: 22 ноября 2013 г.
Выполнены исследования по воздействию облучения ионами аргона на ряд конструкционных материалов: коррозионно-стойкая сталь 12Х18Н10Т, Ni, Cu, W, а также композиционный материал W-Cu. Энергия ионов – 300 эВ, флюенс– (6,0-14,5) ∙1019см-2. Методами микровзвешивания и резерфордовского обратного рассеяния получены коэффициенты распыления исследованных материалов. По результатам экспериментов сделан вывод о перспективности использования псевдосплава W-Cu для практических задач, в ...
Добавлено: 29 ноября 2013 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Fusion Engineering and Design 1998 Vol. 39-40 P. 419-426
The sputtering of a number of materials due to an intense polyenergetic flux of hydrogen particles has been investigated. The irradiation of pure tungsten, copper, aluminium, titanium, aluminium-lithium alloys, stainless steel and tungsten-copper composition has been carried out at particle flux densities of 1017-1018 cm~2 s~' and at fluences of 1020-1022 cm~2. Furthermore, W-Cu composition ...
Добавлено: 15 ноября 2013 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Myo T. H. и др., Journal of Surface Investigation 2022 Vol. 16 No. 4 P. 581-585
Добавлено: 3 августа 2022 г.
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Тун Й. Н., Известия высших учебных заведений. Физика 2015 Т. 58 № 9 С. 99-104
Установлены закономерности процесса распыления катода с тонкой диэлектрической пленкой переменной толщины в тлеющем разряде. Показано, что плотность потока распыленных с катода атомов максимальна на его участках с наименьшей толщиной пленки вследствие существования фокусировки на них ионного потока, которая обусловлена нарушением однородности электрического поля вблизи поверхности катода. В результате происходит увеличение неравномерности толщины пленки с течением ...
Добавлено: 21 января 2016 г.
Special features of sputtering of the cathode with a thin dielectric film of variable thickness in a glow discharge are studied. It is shown that the flux density of atoms sputtered from the cathode is maximal on its sections with minimal film thickness due to focusing of ion flux caused by the violation of the ...
Добавлено: 21 января 2016 г.
A two-dimensional model of a sintered electrode activator (in particular, barium) transport in the arc discharge lamp tube volume, based on numerical solution of the non-stationary diffusion equation, is developed. The dependence of the barium atoms flow density at the electrode rod tip on fill gas pressure and electrode dimensions is investigated. It is found ...
Добавлено: 21 ноября 2013 г.
Бондаренко Г.Г., Кристя В. И., Мью Т. Х. и др., В кн. : Труды XXXI Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 5 - 10 июля 2021 г.). : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2021. С. 159-164.
Добавлено: 22 июля 2021 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2017 Vol. 168 No. 012008 P. 1-5
Добавлено: 17 февраля 2017 г.
National Research Nuclear University «MEPhI», 2017
Добавлено: 31 августа 2017 г.
Бондаренко Г. Г., Дубинина М. С., Кристя В. И. и др., В кн. : Труды XXVII Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь,10-15 июля 2017 г.), под редакцией д.ф.-м.н., проф.Бондаренко Г.Г. М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2017, 522 с. : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2017. С. 41-46.
В данной работе с использованием предложенной модели слаботочного разряда определены вклады различных типов межчастичных взаимодействий в поддержание баланса основных типов частиц как функции относительного содержания ртути в смеси аргон-ртуть. ...
Добавлено: 22 августа 2017 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Journal of Nuclear Materials 1996 Vol. 233-237 P. 688-691
The sputtering of W-Cu composition by polyenergetic flux of hydrogen particles has been investigated. The experiments showed that the sputtering coefficients of the materials had abnormally high values in the experimental conditions. ...
Добавлено: 15 ноября 2013 г.
Akishin A. I., Babaev V. P., Belova N. V. и др., Journal of Advanced Materials 2007 Vol. 14 No. 6 P. 490-493
Comparative unvestigations are carried out into the effect of irradiation in the flow of oxygen plasma on the sputtering of polymer materials - polyvinyltrimethylsilane, polyimide and polyvinyltrimethylsilane with the additions of carbon nanjparticles. It is shown that the mass loss of the polyvinyltrimethylsilane specimens is 1.5 times smaller than that of the polyimide specimens. ...
Добавлено: 25 ноября 2013 г.
Diffusion transport of material sputtered from the surface of the powered electrode in the asymmetric alternating current discharge is theoretically studied. It is shown that amplitudes of the non-stationary component of the sputtered atom (SA) flow densities at the electrodes depend on the discharge frequency and two dimensionless parameters, which are functions of the SA ...
Добавлено: 21 ноября 2013 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., , in : IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. XII International Conference Radiation-thermal Effects and Processes in Inorganic Materials. 4–12 September 2016, Tomsk, Russian Federation. Т. 168.: Бристоль : IOP Publishing, 2017. P. 012008-1-012008-5.
An approximate analytical expression for the ion current density near the cathode in glow discharge is obtained in the presence of a periodic relief of small amplitude and an insulating oxide film of varying thickness on its surface. It is found that ion focusing at the cathode sections with the minimum film thickness, located on ...
Добавлено: 26 апреля 2017 г.
Masalovich M., Zagrebelnyy O., Nikolaev A. и др., Electrochimica Acta 2022 Vol. 410 Article 139999
Добавлено: 5 декабря 2022 г.
Бондаренко Г.Г., Бонк О. Г., Кристя В. И. и др., Известия РАН. Серия физическая 2000 Т. 64 № 4 С. 752-755
Рассмотрена задача о диффузионном переносе распыленных атомов в цилиндрической камере с полым катодом в условиях тлеющего разряда. Получено выражение, описывающее распределение обратного потока распыленных атомов на катод вдоль его поверхности. Показано, что в результате переосаждения распыленных атомов может происходить стягивание разряда в область катода, где в начальный момент времени плотность тока была наибольшей. ...
Добавлено: 29 ноября 2013 г.
Аитов Р. Д., Бондаренко Г.Г., Кристя В. И., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 1997 № 1 С. 11-14
Теоретически исследовано движение ионов в катодном слое тлеющего разряда вблизи текстурированной поверхности мишени. Показано, что происходит сепарация ионов по энергиям на элементах поверхностного рельефа. ...
Добавлено: 4 декабря 2013 г.