?
Формализация процесса проектирования устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии
С. 235–236.
Костомаров П. С.
В работе рассмотрены основные подходы к решению задачи математического программирования при проектировании устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии, приводятся актуальные методы формализации в решении задачи синтеза конструкции ультрафиолетового тракта.
Язык:
русский
В книге
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014.