Повышение качества светового потока в литографии

Е. Н. Ивашов; П. С. Костомаров; П. А. Лучников

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

17 июня 2026 г.

Биоинформатики НИУ ВШЭ обнаружили 20 опасных мутаций в гене, связанном с легочной артериальной гипертензией

Ученые НИУ ВШЭ совместно с коллегами из российских университетов выяснили, какие мутации в гене ACVRL1 опасны для пациентов с легочной артериальной гипертензией. Они смоделировали, как изменения в гене влияют на связывание АТФ с белком — процесс, от которого зависит передача сигналов, необходимых для работы сосудов. Оказалось, что 20 из 32 вариантов могут нарушать передачу сигнала и провоцировать болезнь. Результаты опубликованы в Journal of Structural Biology.

17 июня 2026 г.

Интеллектуальная робототехника: кадровый голод и масса возможностей

Пока на рынке мало кадров, способных заниматься разработкой интеллектуальных робототехнических систем. Между тем именно к этому идет робототехника. Как учат ее проектированию и каково будущее отрасли, в интервью IQ Media рассказал заведующий Проектно-учебной лабораторией робототехники НИУ ВШЭ Вадим Моргачев.

17 июня 2026 г.

Каким должно быть образование, чтобы готовить кадры для экономики будущего

Эти вопросы обсудят на форуме HR EXPO PRO ЛЮДЕЙ, который состоится 18-19 июня в Москве. В его работе примет участие ректор НИУ ВШЭ Никита Анисимов, федеральные министры, HR-директора компаний, ректоры вузов, эксперты. На форуме будет представлен стенд, посвященный программам ДПО НИУ ВШЭ.

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Повышение качества светового потока в литографии

С. 200–203.

Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Лучников П. А.

Показано использование эффекта обращения волнового фронта для обеспечения высоконаправленного светового потока и создания компенсации его искажения по всей трассе прохождения пучка лучей. Рассмотрены основные направления применения данного эффекта, подходящие для использования в устройствах, направленных на получения элементов с проектными нормами не более 32 нм. Представлено устройство для выполнения литографических операций в основу которого положена задача повышения качества светового потока используемого для технологической обработки, за счет большей равномерности.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: обращение волнового фронта световой поток литографические операции фазосдвигающие элементы

В книге

INTERMATIC - 2013. Материалы Международной научно-технической конференции "Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения", 2–6 декабря 2013 г., Москва

Ч. 2. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013.

Ультраметрики, потоки, деревья и узкие места

Вялый М. Н., Гурвич В. А., Математическое просвещение 2012 № 16 С. 75–88

Между конечными ультраметрическими пространствами, остовами минимального веса на графах, а также потоками и узкими местами в сетях имеются интересные связи, на которых авторы и сосредоточились в этой статье. ...

Добавлено: 18 октября 2014 г.