?
Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии
Описана установка для получения демпфированного вакуумного разряда с пиковым током 18 kA и длительностью меньше 1 μs. В таком разряде реализуется ранее обнаруженное явление возникновения многозарядных ионов в вакуумном разряде в условиях отсутствия пинчевания на стадии формирования разрядного столба плазмы. Основная идея заключается в быстром прекращении разрядного тока после этой стадии, что может позволить реализовать разрядный источник излучения с низким уровнем эрозии электродов. Управление током разряда осуществляется с помощью демпфирования разрядного контура путем включения в его цепь балластного сопротивления. Тестовые измерения показали возникновение многозарядных ионов железа (до Fe VIII) на временах 100-200 ns от начала разряда. Была изучена зависимость динамики развития разряда и интенсивности его излучения в диапазоне экстремального ультрафиолета от расстояния между электродами. Продемонстрировано возникновение излучения с длиной волны 13.5 nm при использовании в разряде анода из олова. Ключевые слова: электрические разряды, экстремально ультрафиолетовoе излучение, экстремально ультрафиолетовые спектры, многозарядные ионы.