• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Articles
  • Характеристики качества функционирования нанолитографических систем в автоматизированном проектировании
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2028
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
September 18, 2026
When Pictures Hinder Understanding: Illustrations May Impede Learning of Abstract Ideas
Illustrations can help remember specific actions but do not always make abstract ideas easier to learn. Researchers from HSE University and Humboldt University compared how people learn from texts with different levels of abstractness. They found that participants remembered illustrations better and performed better on related tasks after reading a multimedia text about yoga asanas than after reading an abstract text about the Nash equilibrium. The findings could help improve the selection of illustrations for educational and informational materials. The study has been published in Learning and Instruction.
September 17, 2026
'I Wish That People Would Place Greater Trust in Science'
When Tatiana Eremicheva chose Fundamental and Computational Linguistics as her field of study, she thought it would be about learning languages. Instead, she discovered it was about helping people. In this interview for the HSE Young Scientists project, she discusses science as a way of understanding the world, billiards as a team-building activity, and why learning to read is not always as easy as it seems.
September 15, 2026
Immunity to Chaos: How Personal Resources Help Us Cope with the Challenges of a Turbulent World
International conflicts, crises and digital overload—the modern world puts our minds to the test every day. Traditional psychology often focuses on the consequences: anxiety, depression, and psychosomatic disorders. But what if we looked at the problem differently—through the lens of the resources that prevent us from breaking down? Psychological immunity is precisely this set of resources. Alena Zolotareva and her group, Psychological Immunity as a Resource for Positive Functioning, are developing an integrative model of this phenomenon, adapting diagnostic tools and preparing for large-scale empirical research. Why do psychologists need to collaborate with medical professionals, and how could their research transform preventive care in clinics and corporations?

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Характеристики качества функционирования нанолитографических систем в автоматизированном проектировании

Вестник компьютерных и информационных технологий. 2012. № 12. С. 8–15.
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю., Stepanchikov S. V.
Research target: Construction Mechanics and Mechanical Engineering Effective Natural Resource Management Electronics and Electrical Engineering
Priority areas: engineering science
Language: Russian
Full text
Keywords: фуллереныустройство для выполнения нанооперацийэкстремальная ультрафиолетовая литографияоптическая литографическая системаэнергетические потери в нанолитографе
Similar publications
Обоснование параметров разравнивающего устройства для измельчения соломы
Богданчиков И. Ю., Бачурин А. Н., Есенин М. А. et al., Достижения науки и техники АПК 2026 Т. 40 № 6 С. 73–80
The studies were conducted with the aim of theoretically and experimentally justification the parameters of a levelling device with adjustable depth to improve the uniformity of the chopper rotor loading and the quality of straw distribution in the MDUS-2.3 unit. The optimal angle at the apex of the isosceles triangular profile of the levelling device of 90° ...
Added: September 17, 2026
Singlet–Triplet Transitions in the Dianionic Complex of Fullerene C 60 with Iron Carbonyl: (TBA + ) 2 {[Fe 2 (CO) 6 ]-η 2 ,η 2 -C 60 } 2–
Sobov P. A., Yakushev I. A., Shestakov A. et al., Inorganic Chemistry 2026 Vol. 65 No. 16 P. 9107–9115
Interaction of fullerene C60 with Cs2Fe­(CO)4 in the presence of two equivalents of tetrabutylammonium iodide (TBAI) yields the first dianionic coordination complex of fullerene: (TBA+)2{[Fe2(CO)6]-η2,η2-C60}2– (1). According to magnetic data and DFT calculations, complex 1 has a diamagnetic ground (S = 0) and a triplet excited state (S = 1) populated above 80 K. As ...
Added: September 14, 2026
Complex of fullerene C60 with partial charge transfer: {(dppf)CpFe(CO)}+(C60)-⋅C6H4Cl2 (δ = 0.54–0.86), where dppf is bis(diphenylphosphino)ferrocene ligand
Sobov P. A., Khasanov S., Kuzmin A. V. et al., Inorganic Chemistry Communications 2026 Vol. 185 Article 116055
New complex {(dppf)CpFe(CO)}(C60)⋅C6H4Cl2 (1) was obtained when stoichiometric mixture of C60 and CoII(dppf)Cl2 is reduced by two equivalents of (Cs+){CpFe(CO)2−} (dppf: 1,1`-bis(diphenylphosphino)ferrocene). CpFe(CO)2− anion reduces CoII(dppf)Cl2 and CpFe(CO)2 abstracts the dppf ligand from Co(dppf) forming (dppf)CpFeI(CO). Electron transfer from (dppf)CpFeI(CO) to C60 is observed. As a result, the state of {(dppf)CpFe(CO)}δ+(C60)δ−⋅C6H4Cl2 (δ = 0.54–0.86) is intermediate between ...
Added: September 14, 2026
Effect of the size of the substituents in triptycene (TPC-X) on the magnetic and conducting properties of the layered 2D organic metals (MDABCO+)(C60•−)·(TPC-X), where X = H, Br, and I
Sobov P. A., Kuzmin A. V., Shevchun A. F. et al., Synthetic Metals 2025 Vol. 313 Article 117904
Modification of the neutral triptycene TPC-X molecule by increasing the size of the X substituent at the 9th position from X = H to Br and I affects the magnetic and conducting properties of the (MDABCO+)(C60•−)(TPC-X) salts (1–3, respectively), where MDABCO+ is N-methyldiazabicyclooctanium. These salts feature hexagonal fullerene layers composed of C60•−, which remain undimerized owing to ...
Added: September 14, 2026
Monomers and dimers of fullerenes in the radical anion salts with dyes, (astrophloxine+)2(C60˙−)2 and (astrophloxine+)2(C70−)2: suppression of the C60˙− dimerization by π-stacking
Sobov P. A., Faraonov M., Khasanov S. et al., New Journal of Chemistry 2024 Vol. 48 No. 22 P. 10002–10009
Radical anion salts of fullerenes have been obtained through the reaction of Cs·C60 and Cs·C70 with cationic dye (astrophloxine+)(I−) yielding crystalline salts (astrophloxine+)2(C60˙−)2·C6H4Cl2·C6H14 (1) and (astrophloxine+)2(C70−)2 (2). Salt 1 contains C60˙− radical anions arranged in 3D packing among which pairs of types I and II can be outlined. Strong antiferromagnetic coupling of spins is observed ...
Added: September 14, 2026
Алгебра, теория чисел, дискретная геометрия и многомасштабное моделирование. Современные проблемы, приложения и проблемы истории. Материалы XXIV Международной конференции, посвящённой 110-летию со дня рождения академика Юрия Владимировича Линника и 110-летию со дня рождения профессора Андрея Борисовича Шидловского и 80-летию со дня рождения профессора Геннадия Ивановича Архипова
Тула: Тульский государственный педагогический университет им. Л.Н. Толстого, 2025.
Сборник содержит материалы, представленные на XXIV Международной конференции «Алгебра, теория чисел, дискретная геометрия и многомасштабное моделирование: современные проблемы, приложения и проблемы истории», посвящённой 110-летию со дня рождения академика Юрия Владимировича Линника и 110-летию со дня рождения профессора Андрея Борисовича Шидловского и 80-летию со дня рождения профессора Геннадия Ивановича Архипова. Материалы конференции будут полезны научным работникам, ...
Added: August 27, 2026
Characterizing the Scheduling Performance of 5G NR Base Stations Under Signaling and Data Traffic Constraints
Eduard Sopin, Nazarin A., Begishev V. et al., IEEE Transactions on Vehicular Technology 2026 Vol. 75 No. 6 P. 10995–11007
Aimed at rate-greedy applications having extreme requirements for the data rate at the air interface, 5G New Radio (NR) systems may experience problems when the number of user equipment (UE) in the coverage of the cell increases due to limited capacity of the physical downlink control channel (PDCCH).The aim of this study is to explore ...
Added: August 26, 2026
Understanding the electric double layer at electrode–electrolyte interfaces, Part III: crystallographic-face dependence of silver capacitance in aqueous NaF solutions
Mazur D., Petr E. Brandyshev, Doronin S. et al., Electrochimica Acta 2026 Vol. 577 Article 149729
The electric double layer (EDL) at a single-crystal metal surface is controlled not only by the electrolyte composition and the electrode potential, but also by the atomic structure of the surface itself. This makes the Ag(hkl)/NaF interface a stringent test for continuum theories of the EDL. In the third part of our series, we examine ...
Added: August 20, 2026
2025 Dynamics of Systems, Mechanisms and Machines (Dynamics). International scientific and technical conference Omsk State Technical University, Omsk, Russia
IEEE, 2025.
Dynamics of Systems, Mechanisms and Machines (Dynamics) ...
Added: August 19, 2026
Stiefel filters
A. Bogatyrev, Transactions of the Moscow Mathematical Society 2024 Vol. 85 No. 2 P. 323–337
The best uniform rational approximation of the Sign function on two intervals separated by zero was explicitly found by E. I. Zolotarëv in 1877. The natural extension of this problem to three bands was solved by E. Stiefel in 1961. We indicate the solutions overlooked by the prominent geometer and study their properties. ...
Added: August 14, 2026
Hall effect in electrolyte solutions: Self-consistent Debye–Hückel–Onsager theory
Budkov Y., Kalikin N., Journal of Chemical Physics 2026 Vol. 165 Article 064506
A self-consistent statistical-mechanical theory of the Hall effect in electrolyte solutions is developed by extending the self-consistent Debye–Hückel–Onsager (SCDHO) framework to crossed electric and magnetic fields. The theory incorporates non-local ionic charge distributions via Slater-type form factors, regularizing the Coulomb interaction at short range, and accounts for dielectric friction through ion-specific coefficients, employing experimental values ...
Added: August 12, 2026
Assessing walkability and climate adaptive capacity in relation to urban morphology and historical development
Shartova N., Mironova E., Geo Journal 2026 Vol. 91 Article 78
The historical timeline of urban development profoundly shapes the contemporary form and functionality of cities. Traditionally, cities were planned with limited consideration for the promotion of a healthy urban environment. Using Nizhny Novgorod, Russia, a city that has evolved from a medieval market town to an industrial centre and later into a multifunctional city with ...
Added: August 9, 2026
Картографирование усыхания хвойных лесов по данным дистанционного зондирования Земли на примере лесов хребта Хамар-Дабан
Tsydypova M., Современные проблемы дистанционного зондирования Земли из космоса 2026 Т. 23 № 3 С. 263–275
The article presents a methodology for mapping coniferous forest decline, based on the integration of automated remote sensing data interpretation techniques, vegetation indices, remote sensing data on above-ground biomass (Biomass CCI (Climate Change Initiative)), and materials from ground-based forest pathology surveys using forests of the Khamar-Daban ridge (Republic of Buryatia) as a case study. The ...
Added: August 9, 2026
Encyclopedia of Ecology, 3rd Edition. Volume 3
Sandlerskiy R., Elsevier, 2026.
Encyclopedia of Ecology, Third Edition, Four Volume Set - with over 300 chapters - once again provides a comprehensive reference work covering the current ideas and practices in ecology. Ecology is the ideal field for studying complex, adaptive, and self-organizing systems and by observing and understanding ecosystems, it provides valuable insights into creating sustainable systems. This knowledge is ...
Added: August 9, 2026
Основы технологии производства и машинное обучение : учебник для вузов
Trubochkina N. K., М.: Юрайт, 2026.
This textbook is designed to develop students' holistic understanding of modern production processes and methods for their analysis and management using machine learning technologies. In the context of the fourth industrial revolution, where traditional engineering disciplines are inextricably intertwined with intelligent data processing methods, there is a growing need for specialists capable of integrating knowledge ...
Added: August 8, 2026
Методика определения параметров донного аппарата с гусеничным движителем для добычи полезных ископаемых
Бяков К. Е., Мокрецов Н. А., Наумов В. Н., Инженерный журнал: наука и инновации 2025
Рассмотрена перспективная технология разведки и добычи залежей полезных ископаемых непосредственно на дне Мирового океана с использованием роботизированных донных аппаратов с различными контактными движителями. Для определения основных конструктивных параметров экспериментального образца на стадии проектирования требуется выполнение тягового расчета. Приведены основные зависимости, необходимые для такого расчета, на базе которых выбираются основные параметры донного аппарата с гусеничным движителем ...
Added: August 7, 2026
Робототехнические средства военного назначения. Структура и свойства
Машков К. Ю., Бяков К. Е., Горелов В. А., М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017.
Дана классификация робототехнических средств военного назначения. Перечислены задачи и цели роботизации войск. Рассмотрены структура и свойства робототехнических средств военного назначения. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, изучающих дисциплину "Проектирование мобильных роботов". ...
Added: August 7, 2026
Адаптация рабочей среды AutoCAD Mechanical к требованиям ЕСКД
Федоренков А. П., Полубинская Л. Г., Бяков К. Е., М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2019.
Рассмотрены все стадии настройки программы AutoCAD Mechanical — от обустройства интерфейса до создания пользовательских шаблонов. Подробно представлены инструменты, обеспечивающие настройку графической системы для работы с конкретным аппаратным обеспечением и ее модификацию во время сеанса работы с программой. Практические рекомендации направлены на ускоренное освоение программы AutoCAD Mechanical. Для самостоятельной проработки студентами, обучающимися по специальностям 23.05.01 «Наземные ...
Added: August 7, 2026
Научно-исследовательская работа студента
Бяков К. Е., Гончаров Р. Б., Евсеев К. Б. et al., М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2023.
Сформулированы цели и задачи научно-исследовательской работы студента (НИРС), определены требования к её выполнению в соответствии с действующими образовательными стандартами. Приведены требования к содержанию и перечислены обязательные разделы отчёта. В виде алгоритма описан порядок работы над НИРС в течение семестра, в том числе при работе в дистанционном режиме. Приведены критерии оценки выполнения научно-исследовательской работы. Для студентов, ...
Added: August 7, 2026
Моделирование систем транспортных средств. Модуль 1. Введение в математическое моделирование систем транспортных средств. Моделирование элементов ходовых систем колёсных машин
Комиссаров А. И., Бяков К. Е., Косицын Б. Б. et al., М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2024.
Приведено описание лабораторных работ модуля 1 «Введение в математическое моделирование систем транспортных средств. Моделирование элементов ходовых систем колёсных машин» курса «Моделирование систем транспортных средств», выполняемых в программном комплексе автоматизированного анализа динамики систем тел «Универсальный механизм». Приведены краткие теоретические сведения, исходные данные, пошаговые инструкции для создания моделей. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки ...
Added: August 7, 2026
Тяговый расчёт мобильного робота на этапе проектирования с использованием MatLab
Корсунский В. А., Бяков К. Е., М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2025.
Описана методика выбора параметров энергетической установки и тяговых электродвигателей мобильного робота на этапе проектирования с использованием программного комплекса MatLab. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 23.05.01 «Наземные транспортно-технологические средства», 23.05.02 «Транспортные средства специального назначения», и магистрантов 2 курса, обучающихся по направлению подготовки 23.05.04 «Наземные транспортно-технологические средства». ...
Added: August 7, 2026
Совместное применение метода топологической оптимизации и аддитивных технологий для быстрой модернизации несущих систем колёсных машин
Попова К. В., Вдовин Д. С., Бяков К. Е. et al., Труды НАМИ 2025 № 3 (302) С. 61–72
Введение (постановка задачи и актуальность). В процессе доводки или модернизации транспортных средств неизбежно возникают изменения в их компоновке или составе агрегатов. Процесс перепроектирования несущей системы при этом должен быть эффективен по времени и минимален по количеству изменений, но при этом сохранять в конструкции необходимый запас прочности, уровни долговечности и жёсткости. Совместное применение метода топологической оптимизации и ...
Added: August 7, 2026
Разработка математической модели для подбора параметров алгоритма системы стабилизации кузова городского автобуса в программном комплексе автоматизированного анализа динамики систем тел
Комиссаров А. И., Сарач Е. Б., Косицин Б. Б. et al., Инженерный журнал: наука и инновации 2023 Т. 143 № 11
The authors have developed a spatial non-linear dynamic model for the comparative analysis of a city bus body stabilization system algorithms. The model was created in the «Universal Mechanism» multi-body system modeling software. The article describes the MBS models of the suspension, steering, powertrain and actuators of the stabilization system. The algorithm of the stabilization ...
Added: August 7, 2026
Разработка имитационной математической модели электропривода механизма стабилизации кузова автобуса при крене в повороте
Комиссаров А. И., Косицин Б. Б., Сарач Е. Б. et al., Инженерный журнал: наука и инновации 2024 Т. 153 № 9
The authors have developed a spatial non-linear dynamic model for the comparative analysis of a city bus body stabilization system algorithms. The model was created in the «Universal Mechanism» multi-body system modeling software. The article describes the MBS models of the suspension, steering, powertrain and actuators of the stabilization system. The algorithm of the stabilization ...
Added: August 7, 2026
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit