?
Надёжность функционирования технологического оборудования нанолитографии
С. 83-87.
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю., Ланцев А. Н., Stepanchikov S. V.
In book
Ч. 3: Материалы и технологии. , М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012