• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2028
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
August 25, 2026
Scientists Develop Algorithm for More Reliable Processors in Data Centres
Researchers from HSE MIEM and Samara University have developed the LRF-3D algorithm to automatically bypass idle nodes in three-dimensional networks-on-chip. Thanks to its hierarchical architecture, the algorithm outperforms existing solutions in both speed and path accuracy, improving processor reliability for use in data centres, supercomputers, and AI computing. The source code and test results are publicly available.
August 24, 2026
Researchers Develop Method for Direct Generation of Regulatory DNA
Researchers at HSE University have developed a model for generating promoters and enhancers—DNA sequences that regulate gene activity. The model works directly with DNA nucleotides, without first transforming them into a continuous numerical representation. This solution could be useful for applications in synthetic biology and gene therapy. The study results were presented at the ICLR 2026 Workshop ‘Generative AI in Genomics (Gen^2): Barriers and Frontiers.’
August 21, 2026
Social Integration: At the Crossroads of Knowledge and Values
The International Laboratory for Social Integration Research (ILSIR) at HSE University studies the challenges faced by vulnerable groups and explores ways to help them participate fully in everyday life. To develop effective solutions, the laboratory’s researchers combine cutting-edge methods with practical fieldwork. In this interview with the HSE News Service, Laboratory Head Elena Iarskaia-Smirnova discusses the laboratory’s work.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 121–124.
Костомаров П. С.
Language: Russian
Full text
Keywords: Подсистема выбора УИУФЛСравнительный анализУстройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ)Множество ПаретоМножество независимых вариантов

In book

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2014», 1–5 декабря 2014 г., Москва
Ч. 3. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014.
Similar publications
Episodic Volunteering in Sport Events: A Seven-Country Analysis
Okada A., Ishida Y., Yamauchi N. et al., Voluntas: International Journal of Voluntary and Nonprofit Organizations 2022 Vol. 33 P. 459–471
Given its ubiquitous nature, sport events are one of the most popular venues for episodic volunteering around the world. This article explores the rare dataset of volunteering in sport events in seven countries—Finland, Ghana, India, Japan, Switzerland, Tanzania, United States—to overview the differences and similarities iden- tified in demography, volunteers’ reactions to hosts’ man- agement ...
Added: November 28, 2021
Моделирование сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалы международной научно-практической конференции, 2014.: М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211–213.
В работе рассмотрена методология моделирования сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Приведены основные шаги, необходимые для построения системной модели, показаны этапы моделирования сложных систем. Использование данной методологии позволяет при помощи методов алгоритмизации и ЭВМ осуществить обоснованный выбор объектов иммерсионной литографической системы. ...
Added: June 9, 2015
Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок
Костомаров П. С., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 251–252.
В работе представлено сравнение вариантов устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ) по показателям с использованием порядковой шкалы оценок. В перечне предпочтительных вариантов можно найти такие, которые будут обладать высшими оценками по какому-либо локальному показателю. Предложен алгоритм поиска множества независимых вариантов УИУФЛ. Показаны этапы создание автоматизированной подсистемы выбора УИУФЛ. ...
Added: June 2, 2015
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit