• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
July 24, 2026
‘I Like Self-Fulfilling Prophecies
Andrey Vorchik studies happiness, delivers popular science lectures, and believes that science should address social issues as well. In an interview for the Young Scientists of HSE University project, he spoke about how emotions influence decision-making, the Bermuda Triangle formed by the bathroom, refrigerator, and bed, and the ideal formula for education.
July 24, 2026
'Physics Is What the World Is Literally Built On'
Physicist Nina Dzhanayeva, recipient of a Vladimir Potanin Foundation scholarship, focuses her research on nanophotonics. In this interview for the HSE Young Scientists project, she discusses nanowells, scientific intuition, and how physics can help in making frangipane cream puffs.
July 20, 2026
Scientists Create Open Dataset for Studying Concentration
A team of Russian researchers, including scientists from HSE University–St Petersburg, has developed the first open multimodal dataset containing recordings of brain activity, heart function, and video observations to help researchers understand what happens in the human brain during deep concentration. In the future, the dataset could accelerate the development of neural interfaces, rehabilitation technologies, and AI systems. The article has been published in Scientific Data.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок

С. 251–252.
Костомаров П. С.
Language: Russian
Full text
Keywords: Подсистема выбора УИУФЛСравнительный анализУстройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ)Множество Парето

In book

Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции
Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015.
Similar publications
Episodic Volunteering in Sport Events: A Seven-Country Analysis
Okada A., Ishida Y., Yamauchi N. et al., Voluntas: International Journal of Voluntary and Nonprofit Organizations 2022 Vol. 33 P. 459–471
Given its ubiquitous nature, sport events are one of the most popular venues for episodic volunteering around the world. This article explores the rare dataset of volunteering in sport events in seven countries—Finland, Ghana, India, Japan, Switzerland, Tanzania, United States—to overview the differences and similarities iden- tified in demography, volunteers’ reactions to hosts’ man- agement ...
Added: November 28, 2021
Моделирование сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалы международной научно-практической конференции, 2014.: М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211–213.
В работе рассмотрена методология моделирования сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Приведены основные шаги, необходимые для построения системной модели, показаны этапы моделирования сложных систем. Использование данной методологии позволяет при помощи методов алгоритмизации и ЭВМ осуществить обоснованный выбор объектов иммерсионной литографической системы. ...
Added: June 9, 2015
Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Костомаров П. С., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2014», 1–5 декабря 2014 г., МоскваЧ. 3.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014. С. 121–124.
Зачастую, перед инженерами, задействованными на производстве микроэлектронной промышленности, возникает задача выбора лучшего варианта устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ), при решении которой они руководствуются обобщенным критерием оценки качества. Обобщенный критерий включает в себя технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии. В работе показано сравнение вариантов устройств по показателям обобщенного критерия качества, основываясь на порядковой шкале ...
Added: June 3, 2015
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit