• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Построение литографических отображений в двухмерном пространстве
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2028
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
October 1, 2026
HSE Researchers Show How Congenital Motor Disorders Affect Brain Development
Researchers from HSE University’s Institute for Cognitive Neuroscience have synthesised the findings of their previous studies on brain development in children with obstetric brachial plexus palsy and arthrogryposis. Their analysis shows that impaired motor function in early childhood not only limits children’s motor experience but also affects memory, categorical thinking, and information processing. The study has been published in Frontiers in Psychology.
October 1, 2026
Window into the Body: Scientists Develop Neural Network to Detect Risk of 15 Diseases from Retinal Images
Russian universities, with the participation of HSE University, Sber, and Z-union, have developed a neural network that can simultaneously assess the risk of 15 types of pathology from retinal photographs, including not only eye diseases but also cardiovascular conditions. The AI system can help clinicians detect potentially concerning changes at an early stage, identify signs reflecting the condition of retinal blood vessels, and determine whether a patient may need further examination. The paper has been published in Frontiers in Medicine.
September 30, 2026
'We Did Not Limit the Time for Questions'
The International Laboratory for Supercomputer Atomistic Modelling and Multi-Scale Analysis at HSE University held a major conference on molecular dynamics. Participants had the opportunity to attend all the presentations, while speakers were given as much time as they needed to answer questions. The HSE News Service interviewed Grigory Smirnov, Head of the Laboratory, and Genri Norman, Chief Research Fellow, about the conference preparations and the discussions it generated.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Построение литографических отображений в двухмерном пространстве

С. 263–264.
Корпачев М. Ю.
Language: Russian
Full text
Keywords: коррекция оптического эффекта близостиметоды снижения размерностиультрафиолетовая литографическая технологияискусственный фазовый сдвигиммерсирование, двойное экспонирование и паттернирование

In book

Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. Тезисы докладов
Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. Тезисы докладов
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
Similar publications
Статистические методы снижения размерности и кластеризации в экономике: учебное пособие для вузов
Т.А. Дуброва, М.А.Есенин, М.: Издательско-торговая корпорация «Дашков и Ко», 2024.
В учебном пособии представлены теоретические основы статистических методов снижения размерности и кластеризации, востребованных в экономических исследованиях. Рассмотрены метод главных компонент, методы кластерного анализа (иерархические агломеративные процедуры и различные модификации метода k-средних), позволяющие проводить многомерный статистический анализ сложных наборов данных. Приведены примеры практического применения обсуждаемых методов в экономических задачах, большое внимание уделено интерпретации результатов. Каждую главу завершают ...
Added: October 25, 2024
Коррекция эффектов оптической близости в литографии
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Инновационные информационные технологии: Материалы международной научно-практической конференцииТ. 3.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 436–440.
Рассмотрен один из методов преодоления дифракционного предела в литографии – коррекция эффектов оптической близости. Показаны методы практической реализации данной коррекции с помощью специальных компенсирующих элементов или «выточек». ...
Added: May 17, 2013
Задача снижения размерности для опто- и наноэлектроники в литографической технологии
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 52–53.
Приведено решение задачи представления коллекции изображений на плоскости в ультрафиолетовой литографической технологии. Предложены методы снижения размерности объектов на основе линейных методов использующих дискретный вариант разложения Краунена – Лоэва. Предложены также нелинейные методы снижения размерности в ультрафиолетовой литографической технологии на основе отображения множества векторов многомерного пространства в пространство малой размерности. Рассмотрено применение коррекции оптического эффекта близости ...
Added: May 17, 2013
Методы снижения характеристического размера при автоматизированном проектировании элементов СБИС
Ivashov E., Корпачев М. Ю., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: материалы международной научно-технической конференции (2012).: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 284–287.
Рассмотрены основные вопросы снижения размерности изображения топологии на фотошаблоне при отображении коллекции изображений в двухмерное пространство. Предложены методы снижения минимального характеристического размера элементов СБИС с использованием коррекции оптического эффекта близости. ...
Added: February 12, 2013
Пути снижения размерности изображения топологии в УФ – литографическом процессе производства СБИС
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 66–73.
Рассмотрены основные методы снижения минимального характеристического размера в литографической технологии, включающие в себя коррекцию оптического эффекта близости, метод искусственного фазового сдвига, иммерсирования, двойного экспонирования и паттернирования. Рассмотрены также методы отображения коллекции изображений в двухмерное пространство. ...
Added: February 5, 2013
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit