• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site
  • HSE University
  • Publications of HSE
  • Book chapters
  • Диагностика параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом рентгеновской рефлектометрии in-situ

Book chapter

Диагностика параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом рентгеновской рефлектометрии in-situ

С. 87-89.
Новоселова Е. Г., Монахов И. С., Егоров А. А., Смирнов И. С.

Method of in-situ X-ray reflectivity is presented. The results of investigation  of titanium and silicon thin films in real-time of their deposition  on  silicon substrates are discussed.

In book

Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2010.