• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Cтратегия технического обслуживания оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
August 18, 2026
HSE Scholar Presents Research on Postcards in Brazil and South Korea
Timur Khusyainov, Deputy Dean of theFaculty of Humanities atHSE University–Nizhny Novgorod, took part in two international conferences—the XVI World Congress of Rural Sociology in Porto Alegre, Brazil, and the 36th Annual Conference of the Alliance of Digital Humanities Organisations (DH2026) in Daejeon, South Korea. On his way to the conferences, the researcher also visited several other places, where he presented the experience of the Pochtovoe educational project.
August 18, 2026
Physicists Discover What Happens Inside a Stable Vortex
Large vortices with characteristic spiral arms are often observed in the atmosphere and the ocean. Physicists from HSE University have explained how these structures form and why they retain their shape. The researchers found that velocities at points located along the same vortex arc remain correlated even over long distances. At the same time, this correlation weakens rapidly with increasing distance from the vortex centre. These differences help explain the formation of spiral arms and may improve models of atmospheric and oceanic currents. The findings have been published in Physical Review Fluids.
August 17, 2026
‘I Dream of Simple Things
Anastasia Gergenreter specialises in applied statistics and econometrics. In this interview for the Young Scientists of HSE University project, she talked about why she studies addictive substance use, two very different Fishers, and the cherry blossom season at the Main Botanical Garden in Moscow.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Cтратегия технического обслуживания оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 117–121.
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E., Костомаров П. С., Stepanchikov S. V.
Language: Russian
Full text
Keywords: автоматизированное проектированиепроекционная литографияIDEF моделированиестратегии технического обслуживания

In book

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Ч. 3: Материалы и технологии. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.
Similar publications
Cost-Effective Laboratory Matrix Projection Micro-Lithography System
Галиуллин А. А., Kuntsevich A., Pugachev M. et al., Micromachines 2024
Abstract This paper presents a home-built projection lithographer designed to transfer the image from a DLP (digital light processing) projector MEMS matrix onto the microscope objective’s field of view, where a photoresist-covered substrate is placed. The photoresist is exposed using blue light with a wavelength of 450 nm. To calibrate the device and adjust focal lengths, ...
Added: July 28, 2025
Проектирование в электронной инженерии: комплексное моделирование физических процессов телекоммуникационных устройств
Sotnikova S., М.: Грифон, 2024.
В данной монографии изложены основы и современные возможности компьютерного моделирования при проектных исследованиях комплекса разнородных процессов: электрических, тепловых, механических и пр., – которые, как правило, одновременно протекают в телекоммуникационных устройствах систем связи и управления подвижными объектами. Научные положения монографии содержатся при каждом описании теории построения моделей на основе комплексного подхода к проектированию телекоммуникационных устройств, а также ...
Added: January 31, 2025
Тезисы докладов. XXI Научно-технической конференции молодых ученых и специалистов. Том 2
Королев: ПАО "РРК "Энергия им. С.П. Королева", 2017.
Collection of theses of reports. XXI Scientific and technical conference of young scientists and experts. In 2 Volumes. In sixteen sections 327 reports on scientific research, design and methodical developments, experimental works and also works on creation and introduction have been presented to improvement of methods of management and the organization of developments to production of ...
Added: February 26, 2018
Увеличение эффективности проектирования с использованием непараметрических методов обработки информации
Ivashov E., Yagovtsev V., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы международной научно-технической конференции INTERMATIC-2015Ч. 3: Материалы и технологии.: М.: Редакционно-издательский отдел МИРЭА, 2015. С. 213–215.
При автоматизированном проектировании элементов, узлов и устройств технологического оборудования разработчик встречается с проблемой малых выборок, т.е. отсутствия необходимого количества эмпирических данных для принятия рационального конструктивно-технологического решения. ...
Added: December 6, 2015
Стратегия технического обслуживания систем управления
Болнокин В. Е., Ivashov E., Костомаров П. С. et al., Вестник машиностроения, СТИН 2015 № 7 С. 3–5
The policy of maintenance support of a complicated engineering system, providing the maximum effectiveness of its service, is considered. The solved optimization problem of integer programming allows combining the structural elements of a project into groups, optimal from the position of minimization of inter-group connections. ...
Added: September 23, 2015
Автоматизированная система АСОНИКА в проектировании радиоэлектронных средств
Kofanov Y. N., М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012.
В учебно-методическом пособии описывается программное обеспечение Автоматизированной системы обеспечения надёжности и качества аппаратуры АСОНИКА, которая применяется в информационных технологиях проектирования радиоэлектронных средств, изучаемых студентами МИЭМ НИУ ВШЭ в соответствующих дисциплинах. Пособие предназначено для помощи студентам в выполнении, прежде всего, самостоятельных и курсовых работ на кафедре «Радиоэлектроника и телекоммуникации» в «Научной школе АСОНИКА», проводимых в Московском ...
Added: March 16, 2015
Повышение качества автоматизированного проектирования электронных средств на основе комплексирования физической и математических моделей
Sotnikova S., В кн.: Системные проблемы надежности, качества, математического моделирования и инфотелекоммуникационных технологий в инновационных проектах. Коллективная монография.: М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 114–120.
Рассматривается подход к повышению качества автоматизированного проектирования модулей электронных средств (ЭС), который в отличие от существующих, реализован с использованием комплексированной модели, представляющей собой синтез физической и математических моделей фрагмента конструкции ЭС. При этом путём использования процедуры идентификации уточняются геометрические и физические параметры радиоэлементов и материалов конструкции, необходимые для проведения моделирования электрического, теплового и механического процессов, ...
Added: March 10, 2015
Информационные технологии проектирования в микро- и наноинженерии: учебное пособие. В 3-х т.
Кузнецов П. С., Ivashov E., Vasin V. A. et al., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2014.
Рассмотрены некоторые вопросы информационных технологий проектирования в микро- и наноинженерии, в частности, создание устройств прецизионных перемещений на основе эффекта магнитострикции, устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, методы оптимизации технологического процесса выращивания монокристаллического кремния, особенности автоматизированного проектирования накопителей на жестких магнитных дисках. Учебное пособие рекомендовано студентам бакалавриата и магистратуры, обучающимся по направлениям 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 210700 ...
Added: June 5, 2014
Проектирование технологического оборудования в случае малых выборок на основе опорных точек
Болнокин В. Е., Ivashov E., Костомаров П. С. et al., Успехи современного естествознания 2014 № 5 С. 132–136
Для «обхода» проблемы малых выборок предлагается рандомизированный подход определения коэффициентов размытости непараметрических решающих правил на основе процедуры их случайного выбора. Реализация «обхода» проблем малых выборок при оценивании плотностей вероятностей обеспечивается не только увеличением объема исходных данных, но и результатами технического моделирования. Предложена модель оптимизации выбора контрольных точек. Минимизируется количество точек, чтобы управление стало наиболее дешевым, ...
Added: May 26, 2014
Информационные технологии проектирования в микро- и наноинженерии: учебное пособие. В 3-х т.
Vasin V. A., Ivashov E., Слепцов В. В. et al., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2014.
Рассмотрены некоторые вопросы информационных технологий проектирования в микро- и наноинженерии, в частности, моделирование упругих чувствительных элементов туннельных преобразователей, высоковакуумная коммутационная аппара-тура, прецизионные устройства перемещения на основе пьезоэффекта, особенности создания элементов автоматизированной системы проектирования пьезосканеров и система поддержки принятия решений при проектировании объектов лазерной обработки. Учебное пособие рекомендовано студентам бакалавриата и магистратуры, обучающимся по направлениям 210100 – ...
Added: April 10, 2014
Математическое моделирование и ИПИ-технологии в автоматизированном проектировании сложных РЭС
Zhadnov V. V., Иофин А. А., В кн.: Надёжность и качество - 2005: труды Международного симпозиума.: Пенза: Издательство Пензенского государственного университета, 2005. С. 128–129.
В докладе рассматриваются вопросы применения математического моделирования и ИПИ-технологий в автоматизированном проектировании сложных РЭС. ...
Added: April 5, 2014
Автоматизация анализа отказов ИЭТ
Борковский А. В., Zhadnov V. V., Конаплев Я. И., В кн.: Современные методы обеспечения качества и надежности электронных приборов.: [б.и.], 1990. С. 123–125.
Постоянное совершенствование и расширение функциональных возможностей современной аппаратуры приводит к необходимости разработки новых схемотехнических и конструкторских решений и требует обеспечения высоких показателей надежности и качества разрабатываемых изделий. ...
Added: March 12, 2014
Автоматизированное исследование стабильности выходных характеристик ИВЭП
Kofanov Y. N., Zhadnov V. V., Мазница Е. М., В кн.: Повышение технической надежности РЭА: Тезисы докладов IV научно-технической конференции.: Севастополь: СВВМИУ, 1989. С. 19–20.
В связи с постоянным конструктивным усложнением ИВЭП, ростом предъявляемых к ним требований, среди которых не последнее место занимают допуски на выходные характеристики ИВЭП, задача обеспечения стабильности не теряет своей актуальности. ...
Added: March 11, 2014
Информационные технологии проектирования в микро- и наноинженерии: учебное пособие. В 3-х т.
Vasin V. A., Ivashov E., Кузнецов П. С. et al., Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2014.
Рассмотрены некоторые вопросы информационных технологий проектирования в микро- и наноинженерии, в частности формирование углеродных нанообъектов в тонкоплёночных структурах, автоматизированное проектирование процесса углеродных нанотрубок и фуллеренов, аналитическая процедура Саати в автоматизированном проектировании, моделирование процесса управления качеством электронных устройств, функциональное моделирование системы менеджмента качества на основе методологии IDEFO, математическое моделирование управления качеством электронных устройств на основе углеродных ...
Added: March 2, 2014
Применение асимптотических методов в автоматизированном проектировании технических объектов
Ivashov E., Князева М. П., Костомаров П. С. et al., Международный журнал экспериментального образования 2014 Т. 2 № 1 С. 105–108
The problem of small sample size, i.e. absence of required quantity of empirical data for decision making of rational constructive-technically, in case of computer-aided design of elements, nodes and technical objects’ devices is considered. Randomization approach for blur factor’s determination of nonparametric decision rules is suggested. The approach of Laplace’s method in using cores’ asymptotic ...
Added: January 25, 2014
Автоматизированное проектирование систем на этапе предварительной разработки
Ivashov E., Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалы международной научно-практической конференции (2013).: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 207–210.
В работе рассмотрена проблема малых выборок при автоматизированном проектировании элементов, узлов и устройств технологического оборудования на этапе предварительной разработки и связанные с ней изменения структуры системы управления проектами, направленные на повышения эффективности. ...
Added: January 23, 2014
Основы теории надежности и параметрической чувствительности РЭС: Учебное пособие
Kofanov Y. N., Zhadnov V. V., М.: Московский институт электронного машиностроения, 1990.
Подробно излагается один из основных вопросов теории надежности радиоэлектронных средств (РЭС) - анализ и обеспечение их безотказности при проектировании на основе применения аппарата чувствительности. Уделено внимание вопросам автоматизированного проектирования РЭС. Описываются методы получения функций чувствительности, моделирования случайных процессов изменения параметров элементов и выходных характеристик РЭС, методы получения показателей безотказности и оценок степени влияния различных факторов ...
Added: January 3, 2014
Автоматизация проектных исследований надежности радиоэлектронной аппаратуры: Научное издание
Zhadnov V. V., Kofanov Y. N., Малютин Н. В. et al., М.: Радио и связь, 2003.
Рассмотрены вопросы анализа и обеспечения аппаратуры различных классов при проектировании. Приведено описание и сравнительная характеристика различных моделей отказов. Изложены методы анализа аппаратуры, имеющей сложную иерархическую структуру и различные виды резервирования ее компонентов, а так же методы обеспечения надежности, основанные как на использовании методов оптимизации, так и экспертных систем. Показана возможность реализации CALS-технологии при решении задач ...
Added: January 3, 2014
Проектирование аппаратной схемы перемножения матриц
Vnukov A., Саблин Е. Н., Программы для ЭВМ. Базы дан-ных. Топологии интегральных микросхем. Официальный бюллетень Федеральной службы по интеллектуальной собственности патентам и товарным знакам / ФГУ Федеральный институт промышленной собственности.- М.: ФИПС, 2011-.-816с. ISSN: 1683-3090 2011 № 2(75)(Iч.) С. 62–62
Программа позволяет проектировать аппаратные схемы перемножения для матриц произвольной размерности. При этом программа оптимизирует структуру сети, если известно, что какие то элементы матриц являются всегда нулями. Оптимизация позволяет уменьшить количество используемых процессоров, ячеек памяти, а так же сократить время вычисления. . ...
Added: May 16, 2013
Оптимизация процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии в условиях малых выборок
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E. et al., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 112–116.
Предложена математическая модель непараметрической оценки плотности вероятности в условиях малых выборок, обеспечивающая возможность технического моделирования, без использования реальных технологических процессов и дорогостоящего иммерсионного литографического оборудования. ...
Added: February 5, 2013
Система автоматизированного проектирования технологических параметров механической обработки композиционных материалов
Sokolova Y. A., Жарина Д. Е., Калимуллин А. Ш., Вестник Отделения строительных наук Российской академии архитектуры и строительных наук 2009 Т. 2 № 13 С. 18–21
В данное статье освещены проблемы, возникающие при разработке систем автоматизированного проектирования технологических параметров обработки композиционных материалов, таких, как поливинилхлоридные и поливинилацетатные материалы, применяемые в строительной отрасли ...
Added: January 28, 2013
Функциональное моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E. et al., МГОУ-XXI - Новые технологии 2012 № 2 С. 9–16
Рассмотрена IDF0 функциональная модель применительно к процессу формирования топологии объектов методом ультрафиолетовой иммерсионной литографии, являющаяся структурированным изображением производственной системы или среды. ...
Added: January 24, 2013
Критерий качества в автоматизированном проектировании устройств оборудования иммерсионной литографии
Балан Н. Н., Васин В. А., Ivashov E. et al., Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России 2012 № 3 С. 69–77
Рассмотрен подход, позволяющий осуществлять выбор параметров нового технического решения, принимаемого за основу при создании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство, обеспечивающее возможность формирования дорожек нанометрового диапазона с проектными нормами не более 32 нм, и минимальной технологической дефектностью процесса. ...
Added: November 16, 2012
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit