• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
July 24, 2026
'Physics Is What the World Is Literally Built On'
Physicist Nina Dzhanayeva, recipient of a Vladimir Potanin Foundation scholarship, focuses her research on nanophotonics. In this interview for the HSE Young Scientists project, she discusses nanowells, scientific intuition, and how physics can help in making frangipane cream puffs.
July 20, 2026
Scientists Create Open Dataset for Studying Concentration
A team of Russian researchers, including scientists from HSE University–St Petersburg, has developed the first open multimodal dataset containing recordings of brain activity, heart function, and video observations to help researchers understand what happens in the human brain during deep concentration. In the future, the dataset could accelerate the development of neural interfaces, rehabilitation technologies, and AI systems. The article has been published in Scientific Data.
July 20, 2026
‘Science Is Universal-It Knows No Borders
Fuad Aleskerov, Tenured Professor and Director of the International Centre of Decision Choice and Analysis at HSE University, together with his colleagues, has developed methods of network analysis in bibliometrics that have made it possible to identify patterns in the appearance and citation of publications in academic journals, as well as their influence on each other. When one or a number of studies are frequently cited by a wide range of journals, this is an indicator that the research is of high quality. By contrast, extensive cross-citation within a limited group of journals increases the likelihood of identifying a network of predatory publications.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 121–124.
Костомаров П. С.
Language: Russian
Full text
Keywords: Подсистема выбора УИУФЛСравнительный анализУстройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ)Множество ПаретоМножество независимых вариантов

In book

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2014», 1–5 декабря 2014 г., Москва
Ч. 3. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014.
Similar publications
Episodic Volunteering in Sport Events: A Seven-Country Analysis
Okada A., Ishida Y., Yamauchi N. et al., Voluntas: International Journal of Voluntary and Nonprofit Organizations 2022 Vol. 33 P. 459–471
Given its ubiquitous nature, sport events are one of the most popular venues for episodic volunteering around the world. This article explores the rare dataset of volunteering in sport events in seven countries—Finland, Ghana, India, Japan, Switzerland, Tanzania, United States—to overview the differences and similarities iden- tified in demography, volunteers’ reactions to hosts’ man- agement ...
Added: November 28, 2021
Моделирование сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалы международной научно-практической конференции, 2014.: М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211–213.
В работе рассмотрена методология моделирования сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Приведены основные шаги, необходимые для построения системной модели, показаны этапы моделирования сложных систем. Использование данной методологии позволяет при помощи методов алгоритмизации и ЭВМ осуществить обоснованный выбор объектов иммерсионной литографической системы. ...
Added: June 9, 2015
Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок
Костомаров П. С., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 251–252.
В работе представлено сравнение вариантов устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ) по показателям с использованием порядковой шкалы оценок. В перечне предпочтительных вариантов можно найти такие, которые будут обладать высшими оценками по какому-либо локальному показателю. Предложен алгоритм поиска множества независимых вариантов УИУФЛ. Показаны этапы создание автоматизированной подсистемы выбора УИУФЛ. ...
Added: June 2, 2015
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit