• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2028
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
September 11, 2026
How to Assess Students Knowledge in the Age of AI
A researcher at HSE University has proposed a flowchart to help lecturers decide how to assess students who use artificial intelligence. It shows where the use of AI should be restricted and where it can be incorporated into the learning process. The article has been published in IT Professional.
September 9, 2026
‘Balkan Hospitality Opens Doors: Studying Dialects on the Verge of Extinction
You cannot study spoken dialects from books. Instead, you need to go to a village, seek out its elders, and earn the trust of local residents before you can record hours of spontaneous stories. This is how Natalia Muravleva, Associate Professor at the Faculty of Humanities, conducts her research. Her internship in Serbia continued her long-standing study of dialects spoken by Macedonian settlers. In this interview, she discusses how diaspora cultural centres help researchers reach informants, why native speakers need to be interviewed only in their own language (otherwise, as she puts it, they may 'break'), and how a single field season helped her finalise her monograph. She also shares warm memories of autumn in Belgrade and of colleagues with whom grammar can be discussed in three languages at once.
September 9, 2026
Scientists Train Neural Network to Generate Process Plans from 3D Models
Researchers at the HSE FCS AI and Digital Science Institute have developed CAD2TechSpec, a framework that converts 3D models of mechanical parts into machining process plans—step-by-step instructions for machine tools. The solution aims to reduce the time required for the design and preparation of technical process documentation in mechanical engineering, aircraft manufacturing, and other high-tech industries. The study findings have been published in PeerJ Computer Science.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Автоматизированная подсистема выбора устройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 121–124.
Костомаров П. С.
Language: Russian
Full text
Keywords: Подсистема выбора УИУФЛСравнительный анализУстройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ)Множество ПаретоМножество независимых вариантов

In book

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2014», 1–5 декабря 2014 г., Москва
Ч. 3. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014.
Similar publications
Episodic Volunteering in Sport Events: A Seven-Country Analysis
Okada A., Ishida Y., Yamauchi N. et al., Voluntas: International Journal of Voluntary and Nonprofit Organizations 2022 Vol. 33 P. 459–471
Given its ubiquitous nature, sport events are one of the most popular venues for episodic volunteering around the world. This article explores the rare dataset of volunteering in sport events in seven countries—Finland, Ghana, India, Japan, Switzerland, Tanzania, United States—to overview the differences and similarities iden- tified in demography, volunteers’ reactions to hosts’ man- agement ...
Added: November 28, 2021
Моделирование сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалы международной научно-практической конференции, 2014.: М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211–213.
В работе рассмотрена методология моделирования сложных систем иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Приведены основные шаги, необходимые для построения системной модели, показаны этапы моделирования сложных систем. Использование данной методологии позволяет при помощи методов алгоритмизации и ЭВМ осуществить обоснованный выбор объектов иммерсионной литографической системы. ...
Added: June 9, 2015
Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок
Костомаров П. С., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 251–252.
В работе представлено сравнение вариантов устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ) по показателям с использованием порядковой шкалы оценок. В перечне предпочтительных вариантов можно найти такие, которые будут обладать высшими оценками по какому-либо локальному показателю. Предложен алгоритм поиска множества независимых вариантов УИУФЛ. Показаны этапы создание автоматизированной подсистемы выбора УИУФЛ. ...
Added: June 2, 2015
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit