?
Построение литографических отображений в двухмерном пространстве
С. 263–264.
Корпачев М. Ю.
In book
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
Т.А. Дуброва, М.А.Есенин, М.: Издательско-торговая корпорация «Дашков и Ко», 2024.
В учебном пособии представлены теоретические основы статистических методов снижения размерности и кластеризации, востребованных в экономических исследованиях. Рассмотрены метод главных компонент, методы кластерного анализа (иерархические агломеративные процедуры и различные модификации метода k-средних), позволяющие проводить многомерный статистический анализ сложных наборов данных. Приведены примеры практического применения обсуждаемых
методов в экономических задачах, большое внимание уделено интерпретации результатов. Каждую главу завершают ...
Added: October 25, 2024
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Инновационные информационные технологии: Материалы международной научно-практической конференцииТ. 3.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 436–440.
Рассмотрен один из методов преодоления дифракционного предела в литографии – коррекция эффектов оптической близости. Показаны методы практической реализации данной коррекции с помощью специальных компенсирующих элементов или «выточек». ...
Added: May 17, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 52–53.
Приведено решение задачи представления коллекции изображений на плоскости в ультрафиолетовой литографической технологии. Предложены методы снижения размерности объектов на основе линейных методов использующих дискретный вариант разложения Краунена – Лоэва. Предложены также нелинейные методы снижения размерности в ультрафиолетовой литографической технологии на основе отображения множества векторов многомерного пространства в пространство малой размерности. Рассмотрено применение коррекции оптического эффекта близости ...
Added: May 17, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: материалы международной научно-технической конференции (2012).: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 284–287.
Рассмотрены основные вопросы снижения размерности изображения топологии на фотошаблоне при отображении коллекции изображений в двухмерное пространство. Предложены методы снижения минимального характеристического размера элементов СБИС с использованием коррекции оптического эффекта близости. ...
Added: February 12, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 66–73.
Рассмотрены основные методы снижения минимального характеристического размера в литографической технологии, включающие в себя коррекцию оптического эффекта близости, метод искусственного фазового сдвига, иммерсирования, двойного экспонирования и паттернирования. Рассмотрены также методы отображения коллекции изображений в двухмерное пространство. ...
Added: February 5, 2013