• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Методика исследования метрологических характеристик микропроцессорных средств измерений

Скачко Ю. В., Скачко Н. Ю., Галахов В. В.

Содержанием работы является методика измерений, предназначенная для  метрологического исследования средств измерений линейных размеров и перемещений в диапазоне 50 мкм с погрешностью, не превышающей 10 нм. Методика отрабатывалась при разработке высокоточного микропроцессорного средства  измерений. Исследования проводились исполнителями, выполняющими учебные лабораторные работы и участвующими в совершенствовании современных  средств измерений для использования в задачах наноиндустрии