• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Исследование оптических и механических свойств пленок на основе углерода

С. 141-142.
Николаев Д. П.

В ходе проведенной работы получены и проанализированы результаты и физические механизмы процессов формирования микроэлектронных и субмикронных пленок на основе углерода.

В книге

Исследование оптических и механических свойств пленок на основе углерода
Т. 7. Вып. 2(23). Самара: Ротапринт ПГАТИ, 1999.