?
Методика улучшения качества изображения в различных литографических системах
С. 244-245.
Корпачев М. Ю.
Рассмотрены основные технические характеристики и варианты конструкции установок ультрафиолетовой, электронно-лучевой и ионной литографии, для которых приводится универсальный метод улучшения качества изображения на основе коррекции эффектов оптической близости на фотошаблонах.
Язык:
русский
В книге
М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014