• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Методика улучшения качества изображения в различных литографических системах

С. 244-245.
Корпачев М. Ю.

     Рассмотрены основные технические характеристики и варианты конструкции установок ультрафиолетовой, электронно-лучевой и ионной литографии, для которых приводится универсальный метод улучшения качества изображения на основе коррекции эффектов оптической близости на фотошаблонах.