• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Стратегия развития ультрафиолетовой литографической технологии

С. 259-260.
Корпачев М. Ю.

В работе предложена стратегия развития ультрафиолетовой литографической технологии на основе морфологического метода проектирования. Технологический процесс ультрафиолетовой литографии подвергнут структурному и функциональному описанию, что создало возможность для автоматизированного поиска технологических решений. Рассмотрена модель управления производством, реализующим технологический процесс ультрафиолетовой литографии на основе принципов автоматизации и координации управлямых работ.