?
Моделирование процесса формирования изображения в ультрафиолетовой литографии
С. 243-243.
Корпачев М. Ю.
Приводится математическое отражение основных элементов ультрафиолетовой литографической системы, на основе которого создана полная математическая модель процесса формирования изображения в литографической установке.
Язык:
русский
В книге
М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014