• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Моделирование процесса формирования изображения в ультрафиолетовой литографии

С. 243-243.
Корпачев М. Ю.

Приводится математическое отражение основных элементов ультрафиолетовой литографической системы, на основе которого создана полная математическая модель процесса формирования изображения в литографической установке.