• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Формализация процесса проектирования устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 235-236.
Костомаров П. С.

В работе рассмотрены основные подходы к решению задачи математического программирования при проектировании устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии, приводятся актуальные методы формализации в решении задачи синтеза конструкции ультрафиолетового тракта.