Повышение качества светового потока в литографии

Е. Н. Ивашов; П. С. Костомаров; П. А. Лучников

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

27 мая 2026 г.

Нейросетевое отображение как метод создания математических моделей

Ученые НИУ ВШЭ в Нижнем Новгороде и Белградского института физики (Сербия) совместно изучают возможности применения методов машинного обучения и использования нейросетей в исследованиях нелинейной динамики. О международном проекте «Вышке.Главное» рассказала его руководитель от ВШЭ, ведущий научный сотрудник Лаборатории топологических методов в динамике факультета информатики, математики и компьютерных наук НИУ ВШЭ в Нижнем Новгороде Наталия Станкевич.

26 мая 2026 г.

Нейролингвисты НИУ ВШЭ помогли врачам провести операцию с пробуждением 11-летнему мальчику с эпилепсией

Сотрудники Центра языка и мозга НИУ ВШЭ приняли участие в редкой для детской нейрохирургии операции с пробуждением у 11-летнего пациента с фармакорезистентной эпилепсией. Совместно с врачами НПЦ специализированной медицинской помощи детям имени В.Ф. Войно-Ясенецкого в Солнцево они сопровождали удаление участка левой височной доли, где был выявлен эпилептический очаг.

26 мая 2026 г.

Гибкость рынка труда как новая норма: ее формы и адаптация работников

Гибкий рынок труда, который наблюдается сегодня, — не временная тактика или вынужденная мера, а системный ответ на ряд вызовов. Как меняется карьера, какие формы гибкости встречаются и как работникам адаптироваться к ним, в колонке для IQ Медиа размышляет директор Института занятости и профессий НИУ ВШЭ Федор Прокопов.

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Повышение качества светового потока в литографии

С. 200–203.

Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Лучников П. А.

Показано использование эффекта обращения волнового фронта для обеспечения высоконаправленного светового потока и создания компенсации его искажения по всей трассе прохождения пучка лучей. Рассмотрены основные направления применения данного эффекта, подходящие для использования в устройствах, направленных на получения элементов с проектными нормами не более 32 нм. Представлено устройство для выполнения литографических операций в основу которого положена задача повышения качества светового потока используемого для технологической обработки, за счет большей равномерности.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: обращение волнового фронта световой поток литографические операции фазосдвигающие элементы

В книге

INTERMATIC - 2013. Материалы Международной научно-технической конференции "Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения", 2–6 декабря 2013 г., Москва

Ч. 2. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013.

Ультраметрики, потоки, деревья и узкие места

Вялый М. Н., Гурвич В. А., Математическое просвещение 2012 № 16 С. 75–88

Между конечными ультраметрическими пространствами, остовами минимального веса на графах, а также потоками и узкими местами в сетях имеются интересные связи, на которых авторы и сосредоточились в этой статье. ...

Добавлено: 18 октября 2014 г.