• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Надёжность пьезосканеров в зондовой микроскопии

Надежность. 2013. № 1. С. 92-103.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.

Рассмотрены вопросы надёжности систем многофункциональных пьезомодулей, которая зависит от системы автоматического управления пьезосканерами в целом (и отдельными пьезомодулями), а также от надёжности работы самих пьезомодулей, в которых реализуется преобрахование электрической энергии в механичсекую.