• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

An influence of ion and sputtered atom flows inhomogeneity on time evolution of the target surface relief in glow discharge

Journal of Physics: Conference Series. 2008. Vol. 100. No. 062009. P. 1-4.
Bondarenko G., Kristya V. I.

Разработана математическая модель транспорта ионов и распыленных атомов в окрестности мишени, имеющей   периодический поверхностный  рельеф,  при ее облучении в тлеющем газовом разряде. Исходя из предположения малости амплитуды рельефа, пертурбационным методом получены аналитические выражения для их потоков и уравнение, описывающее эволюцию амплитуды рельефа во времени. Показано, что процесс распыления доминирует над обратным перенапылением материала в верхних частях рельефа и имеет место выглаживание рельефа в процессе гомогенного облучения образца.