An influence of ion and sputtered atom flows inhomogeneity on time evolution of the target surface relief in glow discharge

Journal of Physics: Conference Series. 2008. Vol. 100. No. 062009. P. 1–4.

Бондаренко Г. Г., Кристя В. И.

Разработана математическая модель транспорта ионов и распыленных атомов в окрестности мишени, имеющей   периодический поверхностный  рельеф,  при ее облучении в тлеющем газовом разряде. Исходя из предположения малости амплитуды рельефа, пертурбационным методом получены аналитические выражения для их потоков и уравнение, описывающее эволюцию амплитуды рельефа во времени. Показано, что процесс распыления доминирует над обратным перенапылением материала в верхних частях рельефа и имеет место выглаживание рельефа в процессе гомогенного облучения образца.   

Ключевые слова: математическая модель, mathematical model, sputtering, target, periodical surface relief, ions and sputtered atoms, transport of ion, flows, glow discharge, relief smoothing, распыление, мишень, периодический поверхностный рельеф, ионы и распыленные атомы, транспорт ионов, тлеющий разряд, выглаживание рельефа, влияние облучения на свойства твердых тел