?
Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017
Описаны состав, принцип работы и основные метрологические характеристики Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017, обеспечивающего измерение двумерного пространственного распределения эллипсометрических углов. В состав ГЭТ 186-2017 включены спектральный эллипсометр, оснащённый двухкоординатным столом для измерений на сетке 10×10 точек, и интерференционный профилометр, с помощью которого измеряется двумерная карта отклонений от 90° нормалей к поверхности объекта. В точках сканирования, где отклонение нормали превышает 0,01°, измерения не производятся. Измерение двумерного пространственного распределения эллипсометрических углов позволяет восстанавливать пространственные распределения толщины и комплексного показателя преломления покрытий по площади исследуемого изделия. ГЭТ 186-2017 обеспечивает единство измерений в приоритетных направлениях науки и техники, таких как микроэлектроника, оптика, приборостроение.